全自动光栅尺激光外差动态检测系统.PDFVIP

年 月 深圳大学学报（理工版） $ % J3=9$ 第 卷，第 期 （ ） ， !) ! JKLMNBO KP QA-NRA-N LNST-MQS?U QCS-NC- V -NWSN--MSNW TE!9!) NE9! !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 文章编号 （ ） ! # $%! $ !’()’% 全自动光栅尺激光外差动态检测系统 吴玉斌 胡晓朋 朱 勤 （深圳大学工程技术学院，深圳 ） !% 摘 要 给出一种以激光外差干涉仪为基准，用计算机实现自动控制、数据采集、动态 检测、误差分析和列表输出等多项功能的光栅尺高精度自动检测系统, 与传统检测方法相 比，具有精度高、自动化程度高、速度快和测量结果直观清晰等优点 该系统现已用于大批 , 量生产的光栅尺检测, 关键词 激光外差干涉仪；光栅尺；动态自动检测；数据分析与处理 n c 中图分类号 ?@$)+ ；?A)++9( 文献标识码 B u. d e 引 言 u. z s l. a n r 光栅尺数显测量系统可应用于位移、几何尺寸等方面的测量，随着刻蚀技术和倍频技术 u o j 的发展，9! . 甚至更高精度的光栅尺制造技术已经成熟，在数字控制设备中应用十分广 ! / / : 泛 p , 但光栅尺的关键部件长光栅由于材料的不均匀、刻蚀缺陷等原因，会引入不可估计的误 t t h 差，这就要求对每把光栅尺均进行检测 要制造高精度的光栅尺或在保证精度的前提下充分 , 利用长光栅，就必须对长光栅事先进行测量、分析，然后才切断 传统的光栅尺检测主要用 , 高一级精度的光栅母尺作基准，或以一般激光干涉仪为基准，进行人工手动检测，无论是检 测精度、示值稳定性、抗环境干扰、自动化程度、检测速度和数据处理等均不能满足需要,