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- 2017-11-13 发布于天津
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用于热机械微纳加工的掺犃犾多晶硅加热器-光学精密工程
第 卷 第 期 光学 精密工程
１９ １
Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．１
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２０１１ １ Ｊａｎ．２０１１
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２０１１０１０１２４０８
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