带有旁路微流道的改进型电共轭流体射流发生器.pdfVIP

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2017-11-14 发布于湖北
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带有旁路微流道的改进型电共轭流体射流发生器.pdf

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2017 2017年8月机械科学与技术 August MechanicalScienceand for V01．36No．8 第36卷第8期 TechnologyAerospaceEngineering DOI：10．13433／j．cnki．1003-8728．2017．0802 带有旁路微流道的改进型电共轭流体射流发生器王海波，张如照 (西南交通大学机械工程学院，成都610031) 摘要：针对现有电共轭流体射流发生器(普通型)在微小流量输出情况下出现的严重压降问题，结合电流体动力学中离子拖曳泵送和传导泵送的运行机制，理论上解析了压降问题产生的原理，基于此，在普通型射流发生器的基础上设计了一种带有旁路微流道的改进型射流发生器。采用蒸镀、 UV．LIGA、RIE等MEMS制造技术成功制作出了形貌质量俱佳的普通型和改进型射流发生器，并利用输出性能测量实验开展了对比验证。实验结果证明了通过在主流道侧添加旁路微流道来解决射流发生器的压降问题，并借此来提高其输出能力的可行性。关键词：电共轭流体；射流发生器；旁路微流道；MEMS；对比试验中图分类号：TH38；TK05文献标识码：A 文章编号：1003—8728(2017)08—1155—06 Ruzhao WangHaibo，Zhang ofMechanical (School 610031，China) Engineering，SouthwestJiaotongUniversity，Chengdu ordertosolvetheserious ofacommon Abstract：In fluid)jet pressure—dropproblem ECF(electro—conjugate whenits flowissmallandalsoto its structural ofthe optimization generator output improveoutputperformance，the flowchanneloftheECF is onthe ofion and conducted．First，basedprinciplesdragpumping layer jetgenerator conduction ECF is commonand designtheoreticallyanalyzed．Then，both pumping，theimprovedjetgenerator’S ECF withlessdefectsand arefabricated basedonMEMS generators goodappearance successfully improvedje