硅外延片111面层错腐蚀坑显微图象分析-四川师范大学学报自然.PDFVIP

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2018-08-18 发布于天津
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硅外延片111面层错腐蚀坑显微图象分析-四川师范大学学报自然

　 1996 9 ( ) Vol. 19, No. 5　　 19　 5 Journal of Sich uan Normal University( Natural Science) Sept. , 1996　硅外延片( 111)面层错腐蚀坑显微图象分析刘明海　　张　亮 (　 41 4) 　　　 ( 111) ,, . 　,, 　TN3 4. 12 0　 ,. [1] ,,. X [2] ,. , . , ,,. ( 111),., ,、 . 1　 [3] , ., ,,, ., ( 1).( 111), 1, 3( 2). ,. 　　　1996- 5-12 5 : ( 111) 　　 51 1　　　　　　　　　　　　　　 2 　　　　　　　　　　　　　 ,,, ,,, ,.,, [ 3] ., ,, ,.,, ,... [2] : ( 1) ,, ; ( 2) ,,, ,; ( 3) ,, . 3 , 1 mL, 5 g CrO , 1∶1～ 2∶1.: 3 2 6 3 2 3Si+ 4CrO + 3 HF 3H SiF + 4CrF + 12H O. 2 　 ,,. X JL- 2 .( 111). 1 3 　　 () 19 52 　　 1 3 s, 3, ,. ,.,, 1 ～ 3 s . 　　　　　　　　　　　　 2　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 4 2 4 min, 4.,. ,. (, ) . 3. 4、. 2～ 6 min.,. 3　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 5 　　　　　　　　　　　　 3 8 min, 5 4 . 7～ 1 min., 、,, 6. 6 21 min. 1,. 3— 5,,, 3 ,,, . 4— 6. 5 : ( 111) 　　 53 　　　　　　　　　　　　 4　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 6 ,. . 3　、,.: ( 1) ,,,. ., 1 ～ 3 ℃, 1∶1～