运用光蚀刻技术制造金属光栅盘-光学精密工程.PDFVIP

, 第 卷 第 期 光学 精 工程 密 年 月 ! ∀ ! ! ∀ , 运用 刻 术 造 光蚀 技 制 金属光栅盘 金转裕 国 研 , 。。 科学院长春光 精密 械 究所 长春 中 学 广泛应 于 型和 , 绍用 摘要 光蚀刻技术 用 金属部件的成 加工 本文介 光蚀刻技术制 主 间 造金属光栅盘的方法及其中的几个 要 题 学加 , 金属 因 关键词 光蚀刻 光化 工 光致抗蚀剂 光栅盘 腐蚀 子 引 言 、 , 光蚀刻 又称光化学加工 起源 于 年 , 一 一 属 涂一层 酸 物胶层 以照 为母 在金 上 重铬 盐动 相底片 。 , 区 , 属 而, 一 版进行曝光 使未曝光 域被溶解 露出的金 部分用腐蚀液进行腐蚀 然 光蚀刻作为 种 , , 。 , 而 从 开 〔。 工业制造技术 是从 年开始