青岛大学机电工程学院机械位移测量透射式光栅特点结构简单.PPTVIP

透射式光栅 莫尔条纹技术的特点 光电元件输出电信号与位移的关系: 三、辨向电路与信号细分 ★ 单个光电元件接收一固定点的莫尔条纹信号，只能判别明暗的变化而不能辨别莫尔条纹的移动方向，因而就不能判别运动零件的运动方向，以致不能正确测量位移。 ★ 为什么细分? 提高分辨力。尽管光栅尺的刻线密度可以很高，但在高精度测量中需要测量比栅距d更小的位移。 （1） 直接细分 ★直接细分又称位置细分，常用的细分数为4。四细分可用4个依次相距的光电元件，在莫尔条纹的一个周期内将产生4个计数脉冲，实现了四细分。 光栅的外形及结构 光栅的外形及结构（续） 为光栅设计的专用数据转接器（光栅计数卡） 光栅在机床上的安装位置（2个自由度） 光栅在机床上的安装位置（3个自由度） 安装有直线光栅的数控机床加工实况 2自由度光栅数显表 3自由度光栅数显表 光栅数显表（续） 三座标数显表 青岛大学机电工程学院 第七章 机械位移测量 第六节 光栅位移测量系统 光栅副：指示光栅＋主光栅 d 一、 光栅的结构和分类 a+b=d称为光栅的栅距（或光栅常数）通常情况下，a=b=d/2 a b 3）按物理原理和刻线形状不同，可分为黑白光栅(或称幅值光栅)和闪耀光栅(或称相位光栅) 光栅有多种，有不同的分类方法： 1）按用途和形状可分为测量线位移的直线光栅和测量角位移的圆盘形光栅 2）按光路系统不同可分为透射式光栅和反射式光栅两类。 光栅传感器组成：由光源、透镜、光栅副（主光栅和指示光栅）和光电接收元件组成。 特点：结构简单，位置紧凑，调整使用方便，应用广泛。此光路适合于粗栅距的黑白透射光栅。 光源 准直透镜 主光栅 指示光栅 光电元件 透射式圆光栅 该光路适用于黑白反射光栅。 反射式光栅 反射主光栅 指示光栅 场镜 反射镜 聚光镜 光源 物镜 光电电池  二、 模尔条纹 B d 指示光栅——比较短，由高质量的光学玻璃制成。 主光栅（标尺光栅）——长度决定量程大小，由透明材料（对于透射式光栅）或高反射率的金属或镀有金属层的玻璃（对于反射式光栅）制成。 刻线密度——由测量精度来确定，闪耀式光栅为100～2800条/mm，黑白光栅为25、50、100、250条/mm。 d θ g g g g h h h h h B 横向莫尔条纹的斜率 莫尔条纹间距 d d a b c 莫尔条纹的宽度B由光栅常数d与光栅夹角θ决定 莫尔条纹放大系数 K=1/θ 1) 调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了放大作用，又提高了测量精度。 2) 莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化，便于将电信号作进一步细分，即采用“倍频技术”。这样可以提高测量精度或可以采用较粗的光栅。 3) 莫尔条纹对光栅刻线的误差起到了平均作用。刻线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。 U0 Uav Um 光电池阵列 直流分量 信号变化的幅值 指示光栅的位移 1、辨向电路 ★ 辨向是以两路相位互差900的正弦信号为基础。 ★ 如果能够在物体正向移动时，将得到的脉冲数累加，而物体反向移动时可从已累加的脉冲数中减去反向移动的脉冲数，这样就能得到正确的测量结果。 u u1 u1 u2 u2 u2a u2a u1a u1a ubw ubw uaw uaw y1 与门Y1：uaw处于高电平时，u2a是低电平，脉冲被阻，输出为零。 H y2 与门Y2：ubw处于高电平时，u2a是高电平，允许脉冲通过，并触发加减控制器使之置“1”，可逆计数器对与门Y2输出的脉冲进行加法计数。 同理，当指示光栅反方向移动时，输出波形u2超前u1900，与门Y2阻塞，Y1输出脉冲信号使触发器置“0”，可逆计数器对与门Y1输出的脉冲进行减法计数。 u1超前u2900 u1b u1b 2、信号细分 ★ 什么是细分? 细分就是在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲，而是输出若干个脉冲。例如，使光栅每移动一个栅距时输出均匀分布的n个脉冲，从而使分辨能力提高到d/n。 ★上述测量电路的分辨率为一个栅距，即指示光栅每移动一个栅距，辨向电路只输出一个脉冲，计数器所计的脉冲数N与位移x的关系：x=N*d。 ★优点：对莫尔条纹信号波形要求不严格，电路简单，可用于静态和动态测量系统。 缺点：光电元件安放困难，细分数不能太高。 （2） 间接细分 ★ A/D转换细分法 ★ 电阻链移相细分法 四、光栅应用 尺身 尺身安装孔 反射式扫描头 （与移动部件固定） 扫描头安装孔 可移动电缆 防尘保护罩的内部为长磁栅 可移动电缆 扫描头（与移动部件固定） 光栅尺 内部包含以下电路：放大、整形、细分、辨向、报警、阻抗变换等。 为光栅设计的专用信号处理单元（光