共轴共聚焦干涉式表面等离子体显微成像技术.pdfVIP

2017年7月 北京航空航天大学学报 July2017 of ofAeronauticsandAstronautics V01．43No．7 Journal 第43卷第7期 BeijingUniversity http：l}bhxb．buaa．edu．CBjbuaa@buaa．edu．cn DOI：10．13700／j．bh．1001-5965．2016．0526 共轴共聚焦干涉式表面等离子体显微成像技术 张蓓1’8，闰鹏1，王乐2，高枫1，袁梅1 (1．北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院，北京100083 2．中国人民大学理学院，北京100872) 摘 要：表面等离子体(SPs)显微成像技术能够在纳米尺度上对材料折射率的局部 变化以及材料的表面形貌进行检测，这一特性使其在生物医疗及半导体材料等领域有很多的 应用。提出一种新型共轴共聚焦干涉式表面等离子体显微成像技术，该技术可以定量地对折 射率变化进行检测，而且具有实现简单、成本低、对环境条件要求低、信噪比高等优点。采用压 电陶瓷微纳米移动平台在显微物镜的焦面附近对样品进行扫描，SPs信号与参考光的相对相 位会改变从而产生一个周期性的振荡信号即V(z)曲线。同时该技术能够通过控制样品的离 焦距离来实现图像对比度的可控，而且这一举措不会显著地降低图像的分辨率及对比度。也 分别从理论仿真和实验结果上证明了该技术的可行性。 关 键 词：显微成像；共聚焦干涉；表面等离子体；成像系统；纳米检测 中图分类号：TN29；TH742 文献标识码：A 文章编号：1001．5965(2017)07．1330-06 表面等离子体(SPs)是在介质表面传播的一镜的差分扫描干涉显微镜可以用来进行高分辨率 种物理波，因其对介质表面的微小变化(折射率、 表面等离子体成像¨。81，核心技术是当样品在显 厚度)非常敏感，从而成为这些年来纳米传感及 微物镜的焦面上移动时，探测器探测到的输出信 成像领域的一个热点。然而横向分辨率一直是表 号包括两部分，一部分来自表面等离子体，另一部 面等离子体传感及成像技术的一个制约因素，常 分来自于参考光。当样品在显微物镜的焦面附近 用的基于SPs幅值检测的显微技术包括文献[1]移动即离焦时，这两部分的相对相位会发生改变 中提到的使用Al来替代纳米金，Kano等旧1提出由此产生一个周期性的振荡信号，即y(z)曲 的应用高数值孔径的油浸显微物镜替代文献[3] 线。10|。该振荡信号的周期与表面等离子体波的 等使用的高折射率棱镜来激发SPs，Moh等”o提激发角度相关…一。从光学结构来看，该差分扫描 出的使用径向偏振来代替传统的线性偏振等技术 干涉的系统采用了双臂干涉，包括信号臂及参考 都对表面等离子体成像技术的横向分辨率进行了 臂，同时采用了声光调制及其他控制电路来实 优化。文献[1]中提到灰度型的表面等离子体显 现¨’”1。在扫描干涉系统中，输出信号来自于信 微技术的横向分辨率与轴向分辨率相悖，即横向 号臂(后焦面)与参考臂(后焦面)的乘积。而在 分辨率的优化会显著降低轴向分辨率。针对这一 样品移动的过程中，参考臂的信号几乎不变，因此 问题，文献[5]中提出并证明了采用油浸显微物 输出信号与信号臂后焦面成正比Ⅲ1。同理，共聚 收稿日期：2016-06-20；录用日期：2016-10-28；网络出版时间：2016-12-0514：05 网络出版地址：WWW．cnki．net／kcms／detail／11．2625．V1405．001．html 校基本科研业务费专项资金(YwF一14一ZDHXY-09)；北京航空航天大学优青培育基金(YwF．15-6) }通讯作者：E-mail：bei．zhang@buaa．edu．cn 引用格式：张蓓，闫鹛，王乐，等．