微加热板气体传感器的仿真及结构优化.pdfVIP

2010年 仪 表 技 术 与 传 感 器 2010 第8期 Instrument Technique and Sensor No．8 微加热板气体传感器的仿真及结构优化 张子立，殷晨波，陶 春，朱 斌 (南京工业大学车辆与工程机械研究所，江苏南京 210009) 摘要：针对微加热板气体传感器敏感薄膜上温度分布不均的缺点，在传统的微加热板传感器中加入 了硅 岛结构以均 匀薄膜温度分布。利用有限元分析软件ANSYS对带有不同尺寸硅岛的传感器的温度分布进行 了仿真和分析 ，得 出了最 佳的硅岛尺寸，并提 出了一种新型的微加热板气体传感器结构设计，该传感器结构可以在性能不受影响的情况下简化制 作工艺。 关键词：微加热板气体传感器；结构优化；硅岛；温度分布；ANSYS 中图分类号：TP212．2 文献标志码：A 文章编号：1002—1841(2OLO)O8—