化学刻蚀的光学元件面形修复.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ７ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．７ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ７ Ｊｕｌ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０７０９９７０５ 　 化学刻蚀的光学元件面形修复 ， １ １２ １ ２ ２ ２ ２ 项 震 ，侯 晶 ，聂传继 ，许 乔 ，张清华 ，王 健 ，李瑞洁 　 　 　 　 （ 浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 ； １． ３１００２７ ２．成都精密光学工程研究中心，四川 成都 ６１００４１） 摘要：采用化学加工方法对光学元器件进行面形加工，可以避免传统的抛光工艺带来的亚表面缺陷和表面污染。实验中 利用 Ｍａｒａｎｏｎｉ界面效应有效控制化学液的驻留时间和驻留面积，并通过数控系统实现编程控制加工，进行了面形修复 ｇ 实验，利用轮廓仪测量了加工前后的表面粗糙度。结果表明，采用拼接小去除量多次加工的方法，有效地降低了面形误 差，面形值由 （ ）减少到 ，粗糙度基本维持不变。利用此实验装置使基片面形得到修复，避免了传 １．３２ ＝６３２ｎｍ ０．６６ λλ λ 统加工方式带来的亚表面缺陷等问题，有利于强激光系统的使用。 关 键 词：光学元器件；化学刻蚀；面形修复； 界面效应；粗糙度 Ｍａｒａｎｏｎｉ 　 　 ｇ 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ３０５．７ Ａ 　　 犉狅狉犿犲狉狉狅狉狅犳狅狋犻犮犪犾狊狌狉犳犪犮犲 狆 狉犲犪犻狉犲犱犫 狑犲狋犲狋犮犺犳犻狌狉犻狀 狆 狔 犵 犵 ， １ １２ １ ２ ２ ２ ２ ， ， ， ， ， ， ＸＩＡＮＧＺｈｅｎ ＨＯＵＪｉｎ ＮＩＥＣｈｕａｎｉＸＵＱｉａｏ ＺＨＡＮＧＱｉｎｈｕａ ＷＡＮＧＪｉａｎ ＬＩＲｕｉｉｅ ｇ ｊ