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热丝助进氢等离子体中电子及活性粒子输运过程的蒙特-西北大学学报
( )
西北大学学报 自然科学版
, , , , ,
年 月 第 卷第 期
2009 12 39 6 椖楀椼.2009椫楋.楈39椢楋.6
( )
検楋楑楎楊椺楈楋楁椢楋楎楐楄楓楀楏楐椪楊楅楒楀楎楏楅楐楖 椢椺楐楑楎椺楈椨椼楅楀楊椼楀椗椾楅楐楅楋楊
热丝助进氢等离子体中电子及活性粒子
输运过程的蒙特卡罗模拟
,
陈牧笛 周 曙
暋
( , )
中国科学技术大学 近代物理系 安徽 合肥暋 230026
: 。
摘要 目的 研究热阴极直流放电氢等离子体中电子及活性粒子输运过程 方法 模
暋 暋椡楋楊楐楀椕椺楎楈楋
。 ,
拟方法 结果 建立了电子及活性粒子在氢等离子体辉光放电中的输运模型 得到了荷能粒子在
暋
, 。
放电空间的能量分布 空间分布以及发生各种化学反应的频率分布 结论 模拟结果与有关文献
暋
, , 。
报道的实验结果对比 取得了较好的一致性 可利用于更多有氢等离子体参与的实验研究
: ; ;
关 键 词 模拟 氢等离子体 输运过程
暋 暋 椡楋楊楐楀椕椺楎楈楋
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
椣53暋暋 椓暋暋 1000灢274桗 200906灢0974灢05
, 。
氢气是等离子体工艺中一种常用的工作气体 数来描述 对平面坐标系一般采用
暋暋
、 (,, ),
在等离子体化学气相沉积 喷涂及表面处理等很多 椨= 楘椗 椼楋楏毩
。 , : ;
领域中都有广泛应用 在功能薄膜金刚石沉积中 其中 为粒子的位置坐标 为粒子运动方向与 轴
楘 毩 楘
, , 方向的夹角。
大量氢的使用 是形成金刚石沉积的重要因素 氢原
,
, , 每经过一次碰撞 都可以得出这样的
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