露点仪校准与气体含水量标准物质的制备.pdf

共鸣腔，拟合算法得到的4个级次环直径的最大的 测量精度提高到0．03I~m，实现了高分辨力、高精度 标准偏差为3个像素，由此产生的声学共鸣腔腔长 测量的 目的。 测量误差为27nm。影响特征长度测量系统不确定 参考文献 度的主要因素是牛顿环直径的测量以及He—Ne激 光波长的不稳定性，He—Ne高稳频激光器扩展不 [1]张钟华 ．基本物理常量与国际单位制基本单位的重新定义．物 确定度为2．0X10 (k=2)，波长不稳定性对声学 理通报，2006(2) [2]颜承功，郭雅萍 ．等倾干涉法测量研磨面平尺 ．中国计量测试 共鸣腔腔长不确定度造成的影响为 1．6nm。考虑折 协会几何量专业委员会 ．1994年全国年会论文集 射率、温度、激光光斑非均匀等因素影响，系统的测 [3]涂瑾，吴胜登，曹建伟 ，李世伦 ．基于CCD测量技术的不完整圆 量精度达到了0．03m的水平。 直径测量算法研究 ．半导体技术，2007(7) [4]S．V．Mikhlyaev．Measuringthediameterofagrowingcrysta1．Second 4 结论 lASTED International Multi— Conference OilAutomation，Control andInformationTechnology．Novsibirsk．Russia．2005：53—58 圆柱形声学共鸣腔特征长度测量系统的图像 [5]张金涛，薛寿清 ．噪声法测量热力学温度研究 ．计量学报，2007 处理软件是长度测量系统的重要组成部分。该软 (9) 件的使用，使长度测量系统的分辨力提高到0．5nm， 露点仪校准与气体含水量标准物质的制备 陈炜庆 (广州市计量检测技术研究院，广州 510030) 摘 要 用气体含水量标准物质来校准露点仪器会给校准过程带来很多方便。本文论述了气体含水量标准 物质制备的依据、方法，以及制备的条件和不确定度分析。 关键词 露点仪；校准；气体含水量 ；标准物质 DOI：10．3969／j．issn．1000—0771．2010．05．009 校准过程带来很多方便，但实现这种假设的含水量 0 引言 气源必须满足如下几个基本要求：1)含水(蒸汽)量 从JJG2046--1990《湿度计量器具检定系统》 应较长时间稳定不变 ；2)有准确达到标准要求含量 量传关系中对于校准使用中的露点仪、湿度仪器， 数据；3)制备容易，使用方便；4)如使用条件有所变 不论采用什么样的标准器都要配合使用湿度发生 化时应有确定简易的修正方法。基于这种想法，我 源，产生相应的湿度气源，用标准器与被校仪器对 们探讨实现的可能性。 比得到校准结果；实际上，湿度发生装置产生湿气 我们知道 ，在一定压力、温度下空气的饱和蒸 流稳定时间较长，不便于现场在线校准，在低露点 汽分压是一定的，即空气含水量一定。科学界通过 时更难稳定。我们可 以制备一些 己知气体含水量 理论与实验已总结