IC封装设备直线电机定位精度试验研究.pdfVIP

第8期 组 合 机 床 与 自动化 加 工 技 术 No．8 2014年8月 M odularM achineTool＆ AutomaticManufacturingTechnique Aug．2014 文章编号 ：1001—2265(2014)08—0049—04 DOI：10．13462／j．enki．mmtamt．2014．08．014 IC封装设备的直线电机定位精度试验研究 邱 彪 ，黄美发 ，常青青 ，刘亚奇 (1．桂林电子科技大学 机电工程学院，广西桂林 541004；2．北京中电科电子装备有限公司，北京 100176) 摘要 ：直线电机凭借其优异的传动性能在 IC封装设备 中被广泛应用，其定位精度直接影响设备的总 体精度 。为了提高直线 电机定位精度 ，采用Agilent双频激光干涉仪对直线电机 的定位精度进行测 试。通过直线电机不同工况下的定位精度进行 了测试 ，发现直线电机进给的速度、加速度的变化对 定位精度的影响不大，且定位精度具有累计性。最后，根据功能要求采用分段补偿方法对直线 电机 定位精度进行误差补偿，试验结果表明该误差补偿方法简单易行。 关键词 ：直线电机 ；定位精度 ；激光干涉仪 ；误差补偿 中图分类号 ：TH39；TG506 文献标识码 ：A ExperimentalStudyforPositioningAccuracyofLinearMotor IntheIC PackagingEquipment QIUBiao，HUANGMei—fa，ChangQing—qing，LIUYa—qi (1．SchoolofMechanicalElectricalEngineering，GuilinUniversityofElectronicTechnology，GuilinGuan— gxi541004，China；2．BeijingElectronicsEquipmentCompany，Ltd，Beijing100176，China) Abstract：ThelinearmotoriswidelyusedintheIC packagingequipmentwithitsexcellenttransmissionper— formanceand itspositioningaccuracydirectlyaffectstheoverallaccuracyofthedevice．Toimprovethepo- sitioningaccuracyofthelinearmotor，theAgilentlaserinterferom eterisusedtotestthepositioningaccura- cy．Bytestingthepositioningaccuracyoflinermotorunderdifferentconditions，hteresultshowsthatchan— gesofspeedandaccelerationforlinermotorhavelittleeffectonpositioningaccuracyandpositioningaccura- cyraecumulative．Finally，accordingtohtefunctionalrequirements，thisdissertationadoptssub—compensa— tionmethodtoconducterrorcompensationofrthepositioningaccuracyoflinearmotor．Thetestresultsindi- catehtattheerrorcompensationmethod issimpleandfeasible． Keywords：linermotor；positioningaccuracy；laserinterferometer；errorcompensation 运动轴的定位误差 、直线度误差和角度误差。其中，定 O 引言