传感器技术与应用宋德杰电子课件第3章节压力传感器.pptVIP

若差动电容器为变极距的，则 式中, 、 分别为电容器Cx1、Cx2极板间的距离。 由此可知，该测量电路的输出电压U0与电容极距的变化量⊿d成正比。且无非线性误差。 因为 所以 3.5.4 常见电容式压力传感器及其应用 1. 电容式压力传感器 图3-34是一种典型的电容式差压传感器结构示意图。它实际是一个变极距差动电容器。 图中金属膜片为动极板，两个在凹形玻璃上电镀的金属层为固定极板。当被测压力差作用于金属膜片并使之产生左或右位移时，形成的两个电容器的电容量，一个增大，一个减小，并且这个差动电容器的电容变化量大小与被测压差大小有关。如果把一端接被测压力，另一端与大气相通，就可以实现压力的测量。 图3-34 电容式差压传感器结构示意图 2. 电容式压力变送器 由图3-34可知，电容式压差传感器本身不带测量电路。为了方便使用，生产厂家把电容式压差传感器和压差测量转换电路制作在了一起，如图3-35所示，称作电容式压力（差压）变送器。 它的特点是输出标准直流电信号（如4~20mA、0~10mA等等），并且这个电流大小与被测压差成正比。目前常见的电容式压力（压差）变送器型号有1151、3051、3351、3851等。它既可以测量压力，也可以测量压差。测量对象可为液体，也可为气体和蒸汽。 3.6 压力测量与控制系统应用案例 3.6.1 空气压缩机的压力测量显示系统 该空气压缩机的压力测量显示系统结构框图如图3-37所示。 图3-37 空气压缩机压力测量显示系统框图 它由小型空气压缩机、压力传感器及测量电路、放大电路和显示电路等部件组成。下面分别介绍各部分电路的结构和功能。 1. 压力传感器及测量电路 本案例就是选择的扩散硅压力传感器SET-300(T)，其外形如图3-38所示，它的测压范围是0~40KPa，典型压阻值是5KΩ，满足气压测量范围0~30KPa的要求。其内部电路结构如图3-39所示。 图3-38 SET-300(T)的外形 图3-39 SET-300(T)的内部电路结构 它的工作驱动电压典型值是5V，最大值是10V。满量程输出电压的典型值是50mV。由于它的敏感元件是半导体材料，受温度影响较大，为了减少温度变化的影响，扩散硅压力传感器采用恒流源供电方式。 2. 放大电路 由于该扩散硅压力传感器的输出电压信号为毫伏级，要作为显示器的输入信号，一般需要用放大电路。放大电路有多种，合理的选择放大电路对测量精度至关重要。由于扩散硅压力传感器SET-300(T)的内阻比较大（5KΩ），所以本案例选择高输入阻抗的典型仪表放大器作为电压放大电路，它的电路结构如图3-40所示。它的电压放大倍数可通过调整电位器Rw的大小，在1~500之间任意选择。它的功能是将毫伏级电压信号放大成几伏电压输出，共显示电路使用。 图3-40 典型仪表放大器的结构 3. 压力显示电路 由于放大电路输出的是电压信号，为了显示测量压力的数值，还需要选择电压/压力转换显示电路。本案例选择了目前比较流行的数字通用显示器作为电压/压力数值转换显示电路。适当调节示值系数和小数点的位置，可使该数字通用显示器直接显示被测压力值。 4. 现场标定 为了能够正确的显示被测压力数值，还需要现场标定。即根据被测压力与放大器输出电压的对应关系，通过修改数字通用显示器的有关参数，实现电压和压力的这种对应关系，使该显示器直接显示被测压力。其标定过程如下： 在同步互动教学系统上，关闭空气压缩机，使它的输出压力为零；给扩散硅压力传感器加上所需的恒流源，调节扩散硅压力传感器3和4端的外接电位器Rp使电桥平衡，即让扩散硅传感器的输出电压为零。按图3-37所示框图把各个部件连接好，并给各个部件加上所需电源。调整典型仪表放大器的电位器Rw来改变它的电压放大倍数，使扩散硅压力传感器在测量压力范围0~30KPa时，典型仪表放大器的输出电压范围与通用数字显示器的输入电压范围相吻合。然后选择一个压力点（比如说20KPa），调节数字通用显示器的示值系数和小数点的位置，可使该数字通用显示器的显示数值与被测压力数值一致。这样标定以后，显示器的显示数值就是被测压力值。完成了压力测量显示系统的现场标定工作。 5. 报警电路 设定一个压力数值（比如说25KPa），该电路把被测压力数值和设定