传感器技术与应用宋德杰电子课件第11章节气体检测传感器及应用案例.pptVIP

下面以O2检测为例来说明这种传感器的构造和测量原理,它的基本结构及测量电路如图11-11所示。 图11-11 伽伐尼电池式气体传感器结构 在塑料容器内安置厚为10~30 ，透氧性好的聚四氟乙烯隔膜，靠近该膜的内面设置工作电极(铂、金、银等贵重金属)，在容器中其他内壁或容器内空间设置对比电极(铅、镉等离子化倾向大的贱金属)，用KOH、KHCO3作为电解质溶液。 　 氧气通过隔膜溶解于隔膜与工作电极之间的电解质溶液的薄层中，当此传感器的输出端接上负载电阻R形成闭合回路时，在工作电极上发生氧气的还原反应，而在对比电极上发生氧化反应，其反应方程式如下所示。 还原反应 (11-14) 氧化反应 (10-15) (11-16) 总反应方程 (11-17) 由于氧化还原反应，在电路中有电流流动，该电解电流与氧气浓度成比例关系。此电流在负载电阻R的两端产生电压Uo，只要把Uo测量出来就知道被测氧气的浓度。 11.6半导体气敏传感器 　所谓半导体气敏传感器是指利用半导体气敏器件同气体接触，造成半导体性质变化，借此来检测特定气体的成分或测量其浓度的传感器总称。 半导体气敏器件种类很多，按照半导体变化的物理特性，可分为电阻型和非电阻型两大类。 电阻型半导体气敏器件是利用它接触气体时，它的阻值发生变化来检测气体的成分或浓度； 非电阻型半导体气敏器件是利用其它参数，如二极管伏安特性或场效应管的阈值电压变化来检测被测气体的。常见的半导体气敏器件如表11-2所示。 用半导体气敏器件组成的气敏传感器主要用于工业上的天然气、煤气，石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气体的监测、预报和自动控制等。 一、电阻型半导体气敏传感器 1.电阻型半导体气敏器件的测量原理 电阻型半导体气敏器件是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应导致其阻值变化原理而制成的器件。。 目前用于气体检测的半导体材料，N型有SnO2、ZnO、TiO等，P型有MoO2、CrO3等。当氧化型气体吸附到N型半导体上，还原型气体吸附到P型半导体上时，则使半导体载流子减少，电阻值增大。当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P型半导体上时，则使载流子增多，半导体电阻值减少。根据这一特性，可以从阻值的变化得知吸附气体的种类和浓度。 　图11-12给出了气体接触到N型半导体时所产生的阻值变化情况。由图可知，器件在空气中加热4分钟后阻值基本不变。 图11-12 N型气敏元件吸附气体时阻值变化图 这是因为空气中的含氧量是恒定的，因此氧的吸附量也是恒定的。若气体浓度突然发生变化，其阻值也将变化。实验证明，半导体吸附气体的时间一般不超过1分钟。 二、电阻型半导体气敏器件的分类 　电阻型半导体气敏器件一般由敏感元件、加热器和外壳三部分组成。按其结构可分为烧结型、薄膜型和厚膜型三种。 （1）烧结型 　烧结型气敏器件的外形结构如图11-13(a)所示。它是将一定的敏感材料（SnO2、ZnO）及掺杂剂（Pt、Pb）等用水或粘合剂调和均匀，经研磨后以膏状物滴入模具内，埋入加热丝和铂电极，用700~900℃的传统制陶方法进行烧结而成。烧结型器件制作方法简单，器件寿命长。但由于烧结不充分，器件机械强度不高，电极材料较贵重，电性能一致性较差，因此应用受到一定限制。 （2）薄膜型 　　薄膜型气敏器件的外形结构图10-13(b)所示。它的制作方法是首先处理衬底片（玻璃石英式陶瓷）；焊接电极，然后采用蒸发或溅射方法在石英基片上形成一薄层氧化物半导体薄膜(其厚度约在100nm以下)而成。 （3）厚膜型 　　厚膜型气敏器件的外形结构图11-13(c)所示。它是将气敏材料（如SnO2、ZnO）与一定比例的硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶，再把厚膜胶用丝网印刷到事先装有铂电极的氧化铝（Al2O3）基片上，在400~800℃的温度下烧结1~2小时制成。 图11-13 电阻型半导体气敏器件结构 这些器件全部附有加热器，它的作用是将附着在敏感器件表面上的尘埃、油雾等烧掉，加速气体的吸附，从而提高器件的灵敏度和响应速度。加热器的温度一般控制在200~400℃左右。 气敏器件中的加热器通常有