洁净室洁净度的测试方法.docVIP

洁净室洁净度测定工艺 1 范围 本工艺规定了（5～9级）洁净室中悬浮粒子的测试方法和就悬浮粒子而言的空气洁净度的评价。 本工艺适用于洁净室中悬浮粒子洁净度的监测和洁净度等级的验证。 本工艺不包括洁净度1～4级洁净系统的测试。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款，其最新版本适用于本标准。 JGJ71 洁净室施工及验收规范 GB50073 洁净厂房设计规范 GB50243 通风与空调工程施工质量验收规范 3 术语 3.1 洁净室 clean room 对尘粒及微生物污染规定需进行环境控制的房间或区域。其建筑结构、装备及其使用均具有减少对该区域内污染源的介入、产生和滞留的功能。 3.2 粒子 particle 一般尺寸为0.001~1000μm的固态和液态物质。 3.3 洁净度 cleanliness 洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允许统计数。 3.4 单向流 unidirectional air flow（曾称为层流 laminar flow） 沿着平行流线，以一定流速向单一方向流动的气流。 3.5 非单向流 non-unidirectional air flow（曾称为乱流） 具有多个通路循环特性或气流方向不平行的，不满足单向流定义的气流。 3.6 t分布 t distribut