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第七章 卤素检漏 7.2 卤素检漏仪工作原理: 早在1944年，RICE(顿斯)就发现，当铂加热到850℃～950℃时将产生正离子发射，而在卤素气体的催化作用下，这种正离子发射将急剧增长。利用这种“卤素效应”而设计的检漏仪器叫卤素检漏仪。 卤素检漏仪的探头实际上是一只间热式二极管，如图7-1所示。灯丝在大气中将阳极加热至8500C～9500C使阳极发射离子。阴极与阳极间加有约250V的直流电压。当微量的卤素气体被探头吸入以后，在通过红热的阳极时，使阳极的离子发射急剧上升，阴极接收到的离子流经放大后，同时由指针式仪表和扬声器的“嘎嘎……”声指示出来。 图7-1 卤素检漏仪外探头原理图 作为检漏用的卤素气体多为含氯的卤化物，如：氟里昂、氯仿、四氯化碳等。由于氟里昂12(F-12，分子式为CCL2F2)无毒、不可燃、蒸气压高，灵敏度也高，所以得到了最广泛的应用。 卤素检漏仪的灵敏度是比较高的。一般来说它对低浓度(1×10-6)的卤素气体的反应是线性的，对中等浓度(1×10-6～l×10-4)的反应是指数的，而当浓度很高(1×10-3)，检漏仪会出现饱和或者中毒现象。所以应在低浓度范围进行校准和检漏。 7.3 仪器的分类 卤索检漏仪可分为外探头式(内-外式)与内探头式(外-内式)两种。 7.3.1 内探头式(外-内式) 如图7-2所示，将敏感元件(传感器)固定在真空系统内部适当位置上，然后，将系统抽空到几万Pa~10-4Pa的范围，从真空系统外部施以卤素气体，如有漏孔，卤素气体便通过漏孔向真空系统内渗入，与敏感电极发生化学反应，检漏仪就有电信号输出。这种方法能检出2×10-7浓度的气体，相当于2×10-7Pa·m3/s的漏率，一般用于大型容器与复杂系统的检漏，如冷库、氨的贮存器、电站、造船工业、煤炭管道等等。它能确定漏孔的位置和大小。 图7-2内探头式检漏系统原理图 7.3.2 外探头式(内-外式) 所谓外探头式，是被检容器内充以高压卤素气体，容器壁上若有漏孔，卤素气体便从漏孔漏出来，在容器的外表面用可移动的外探头进行探测。当探头对准漏孔后，检漏仪便有漏气指示，如图7-3所示。这种方法的灵敏度可高达十亿分之一浓度的卤素气体，大约相当7.4×10-8Pa·m3／s的漏率。 图7-3 外探头式检漏系统原理图 7.4 仪器的结构 一般的卤素检漏仪由传感器，测量线路，气路三大部分组成。 7.4.1 传感器(又称敏感元件或电极) 传感器是一种典型的铂电极间热式二极管结构，它既是气路通路，又是电气测量线路的组成部分，它装架在不锈钢制成的离子室中。 加热器采用Ф0.5mm的铂丝绕制，电极为Ф8mm和Ф10mm的两个铂筒，电极间隙为1mm左右，极间电压为250V，加热功率30~4OW。 灯丝加热可用直流或交流，有些传感器没有内、外筒，直接用灯丝做为发射栅，为增强“卤素效应”，有些传感器在发射极上涂有碱性金属氧化物，例如莱宝公司生产的HLD3000型卤素检漏仪所配电极。 由于设计者对仪器响应时间及传感器“寿命”等因素的综合考虑有所不同，因此传感器放置位置也不同，可装在探头上，也可装在仪器箱中。 图7-4 典型的传感器结构 7.4.2 测量线路 测量线路包括：稳压器，直流放大器，音频发生器及放大器，整流器等部分，如图7-5所示。 图 7-5 卤素检漏仪的测量线路原理图 (1)稳压器 提供传感器各极电压，使外界电源(220V变化±10%)的稳定度为±2%，加热电压(+6.3V，3A)的稳定度为土4%。离子室正常工作时本底发射为1~5μA。传感器的加热电流，可根据使用状态及其寿命作调整。 (2)直流放大器 双三极管接成桥式电路，电表接在电桥的对角线上，正离子流经放大后，从电表得到指示。放大可分为几级，根据灵敏度高低可任意选择。 电表零点的调整系指从分压器获得一定电压，加入放大器输入端调整零点，其目的是自动补偿外界环境的影响而产生的零漂与噪声。 (3)音频发生器及放大器 在三极管回路中，接有氖泡与电容器并联的电路，构成弛张振荡器，产生音频放大，从喇叭输出声音，并有指示灯显示。 (4)整流器 将交流电源变为直流，供给吸气泵，使吸气泵(吸风装置)工作。 7.5 灵敏度及其校准 7.5.1 技术性能参数 一般的卤素检漏仪其性能参数如表7-1所示 表7-1 卤素检漏仪性能参数 7.5.2 灵敏度 灵敏度的定义有两种，一种漏率灵敏度，一种是浓度灵敏度，漏率灵敏度最直接，使用最多，校准也最