多晶制绒异常常规解决.PPTVIP

制绒段常见异常及常规解决方法 制绒小组 2009.11.12 制绒不良树状结构图 片源异常及解决方法 1、指纹及划痕 片源异常及解决方法 更多照片： 片源异常及解决方法 2、脱胶不良 片源异常及解决方法 片源异常及解决方法 3、切割后未及时清洗，清洗剂残留（清洗不良，硅片表面油污未得以完全去除） 片源异常及解决方法 片源异常及解决方法 4、线痕 线痕片大幅存在，线痕片存在的隐患为：深线痕可能导致更高碎片率，多线线痕可能影响外观并对效率有轻微影响。 线痕表现形式：线痕可从外观直接看出，一般为一根或数根直且细的沟壑（缺照片）。 对单晶而言，线痕分为单线线痕及多线线痕，单线线痕一般因切割断线引起，多线线痕一般为切割浆料异常引起（如回收液的大量使用）。 对多晶而言，线痕除上述单线线痕及多线线痕外，还存在一种与单线线痕类似的硬点线痕，硬点线痕产生的方式为多晶铸锭过程，涂层破损或其他因素引起碳原子扩散进入硅熔体而形成局部碳化硅杂质，碳化硅的存在导致硅片切割时产生断线，引起硬点线痕。 对于线痕片，其引起的影响相对较小，但由于其更属于隐性干扰，难以估量。因此，在制绒段发现线痕片时，除非有质量部门的明确标识：线痕片，让步接收，才可正常进行统一生产。否则，在有线痕片存在时，一律先搁置一边，待得到采购、质量确认后，才统一进行正常生产。 黑名单：当前因各厂家自身控制以及我们采购、质量的严格把关，线痕片出现极少。 设备异常及解决办法 设备引起的制绒异常主要有如下几个特征： 1、独立性。由于设备的损坏，尤其是制绒设备的损坏，并不会同时产生，因此，因设备引起的异常往往仅表现为某一个槽或某一条线； 2、异常硅片的规律性。设备异常，如鼓泡管堵塞，加热器损坏，其制绒出来的硅片往往呈现一致的特征，并且在位置方面也有规律性。 根据以上两条，可以将制绒异常怀疑点引致设备方面。 设备异常及解决办法 鼓泡管堵塞引起制绒异常： 设备异常及解决办法 设备异常常规解决流程： 当将问题引致设备异常方面，对设备异常的考证其实相对简单，当前设备异常主要为含以下四个方面： 1、槽体洁净度 槽体洁净度考察：可采取亲自跟踪的方式，现场要求员工按作业指导书进行正常的槽体清洁，在有需要的时候，可以要求员工取出槽体底部多孔板，以进行更细致的槽体清洁； 2、鼓泡的考察 鼓泡的考察：由于我们线上多个槽体气体流量计的标准并不统一，因此，对鼓泡的考察必须通过肉眼观察予以实现。鼓泡均匀性：鼓泡管上小孔的排布在槽体内均匀，且占有很大面积比，鼓泡正常时，槽体各处均有大小较为一致的鼓泡；鼓泡大小的确定：鼓泡大小可由流量计的调节予以实现，具体大小的判定可以要求线上工段长一起予以确认； 3、加热器的考察 加热器的考察：加热器损坏对制绒有极大影响。考察方法如下：1、采用温度计（煤油温度计或热电偶温度探测仪）进行温度测定；2、取出槽体多孔板，观察加热器是否有明显损坏；3、要求设备对加热器加热状体进行测控，以查证是否确实有异常；（最近案例：一厂6#槽）； 4、热电偶考察 热电偶显示的考察：热电偶显示异常会导致实际制绒温度产生较大偏差，考察方法为：通过温度计对溶液进行测温，根据其与显示温度的差异判定其是否合格，在温度偏差较小，且加热器无异常时，可以采取温度补偿的方法进行正常生产；（最近案例：二厂1线6#槽，3线4、5、6槽）。 工艺异常及常规解决办法 尽管存在片源异常、设备异常等因素干扰，但工艺本身才是制绒段异常的最主要因素。 工艺异常可由预清洗及制绒共同引起： 预清洗：预清洗引起的异常主要包括如下几个方面：1、制绒后硅片未及时清洗，硅片自然风干引起表面出绒不均；2、预清洗酒精使用时间过长，硅片表面有机物残留；3、初抛槽中IPA不足引起硅片跳动，消泡不良引起局部挂碱；4、初抛后漂洗槽温度过低引起挂碱印残留；4、初抛后漂洗槽IPA不足引起硅片发生跳动。 制绒异常：制绒异常可直接归总于工艺条件的偏离或与所生产硅片的匹配性存在较大差异。因制绒条件偏离或与待制绒硅片匹配性差异，制绒后的硅片表面将产生一系列不良，主要包括局部发亮、整体发亮、整体发白、边角发白、大面积水纹印、表面白点、小雨点等。 工艺异常及常规解决办法 预清洗异常及解决办法： 1、酒精使用时间过长导致硅片制绒后局部白斑： 该案例发生在刚引入酒精进行预清洗的验证阶段。当酒精清洗时间过长，在硅片与花篮接触区域，硅片的清洁将难以保证。因该处残余油污的存在，硅片经制绒后，在硅片与花篮接触