美国Thermal_Technology_K1_Sapphire_Crystal_Grower.doc

美国 美国美国Thermal Technology LLC公司简称TT，是专业制造各种高温炉和热压炉的公司/)。公司位于美国加利福尼亚州旧金山附近的Santa Rosa城市，从创立至今已有半个世纪的历史，是真空炉的创始者之一，高温炉设计的改革者并是螺旋形网状(BreWeave? )钨钼发热体开发应用的创始人，BreWeave?设计经多年的实践证明是最适合高温烧结的先进技术。TT公司的产品销售遍及全球40多个国家，有3300多个用户使用其生产的炉用设备。用户的研究生产领域主要集中在照明业、电子业、通信业、可再生能源业和医疗保健业等。TT公司的设备在世界各地拥有广泛的用户，是美国最受欢迎的高温炉生产厂家。TT公司有独立的实验室，由材料学的专家主持实验室的研究工作，配有高温炉、放电等离子烧结炉和热压炉等多种炉型，可为广大用户做各种产品的烧结实验，并为用户提供技术支持和咨询。加热区是高温炉最关键的部位，TT公司的加热区材质均来自于Plansee的钨钼材料，在TT公司由经验丰富的工程师团队精心制作成隔热屏和发热体。TT公司有60多年的高温炉设计经验，机械工程师、电子工程师、组装工程师和设计制造工程师组成的强大团队为每一个用户精心制作满足生产研究要求的设备厚蕴的生产历史和良好的公司运营保证每一台设备能够持续多年的高性能运转。 2010年12月7日，TT公司宣布推出他们的90kg泡生法蓝宝石晶体生长的工业化设备。目前客户已有的蓝宝石炉可以泡生法生产长度400mm，直径250mm的蓝宝石晶体。最新设计的K1型泡生蓝宝石炉适用于生产LED衬底用蓝宝石较短的循环生产周期适用于商业生产。凯氏长晶法(Kyropoulos method) 简称KY法，中国大陆称之为泡生法。泡生法是Kyropoulos于1926年首先提出并用于晶体的生长，此后相当长的一段时间内，该方法都是用于大尺寸卤族晶体、氢氧化物和碳酸盐等晶体的制备与研究。上世纪六七十年代，经前苏联的Musatov改进，将此方法应用于蓝宝石单晶的制备。该方法生长的单晶，外型通常为梨形，晶体直径可以生长到比坩锅内径小10～30mm的尺寸。其原理与柴氏拉晶法(Czochralski method)类似，先将原料加热至熔点后熔化形成熔汤，再以单晶之晶种（Seed Crystal，又称籽晶棒）接触到熔汤表面，在晶种与熔汤的固液界面上开始生长和晶种相同晶体结构的单晶，晶种以极缓慢的速度往上拉升，但在晶种往上拉晶一段时间以形成晶颈，待熔汤与晶种界面的凝固速率稳定后，晶种便不再拉升，也没有作旋转，仅以控制冷却速率方式来使单晶从上方逐渐往下凝固，最后凝固成一整个单晶晶碇，图即为法(Kyropoulos method)的原理示意图。法是利用温度控制来生长晶体，它与柴氏拉晶法最大的差异是只拉出晶颈，晶身部分是靠着温度变化来生长，少了拉升及旋转的干扰，比较好控制制程，并在拉晶颈的同时，调整加热，使熔融的原料达到最合适的长晶温度范围，让生长速度达到最理想化，因而长出品质最理想的蓝宝石单晶。 图1 泡生法(Kyropoulos method)原理示意图微提拉旋转泡生法在对泡生法和提拉法改进的基础上发展而来的用于生长大尺寸蓝宝石晶体的方法。晶体生长系统主要包括控制系统、真空系统、加热体、冷却系统和热防护系统等。籽晶被加工成劈形，利用籽晶夹固定在热交换器底部。热交换器可以完成籽晶的固定、晶体的转动和提拉，以及热交换器、晶体和熔体之间热量的交换作用。加热体、冷却系统和热防护系统协同作用，为晶体生长提供一个均匀、稳定、可控的温场。根据晶体生长所处的引晶、放肩、等径和退火及冷却阶段的特点，通过调节热交换器中工作流体的温度、流量，加热温度(加热体所能提供的坩埚外壁环境温度)可以精确控制晶体/熔体中温度梯度，热量传输，完成晶体生长。图。采用精密编织的钨电极棒电阻加热，其具有方法简单，容易控制的特点。在热防护系统方面，采用钼套筒外包氧化铝泡沫保温隔热层设计。该设计具有保温罩防辐射性能好，保温隔热层热导率小，材料热稳定性好，长期工作不掉渣，不起皮，具有对晶体生长环境污染小，便于清洁等优点。图 微提拉法系统简图 微提拉旋转泡生法法主要特点：(1)通过冷心放肩，保证了大尺寸晶体生长，整个结晶过程晶向遗传特性良好，晶体品质优良；(2)通过高精度的控制配合微量提拉，使得在整个晶体生长过程中无明显的热扰动，缺陷可能萌生的几率较其它方法明显降低；(3)由于只是微量提拉，减少了温场扰动，使温场更均匀，从而保证了晶体生长的成品率；(4)在整个晶体生长过程中，晶体不被提出坩埚，仍处于热区。可以精确控制它的冷却速度，减少热应力；()晶体在自由液面生长，不受坩埚的强制作用，可降低晶体的应力；(6)选用水作为热交换器内的工作流体，晶体可以实现原位退火，缩短试