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单晶TDR06-PCC速度单元调试手册
单晶TDR06-PCC速度单元调试手册
1.TDR06-MOT-IN为晶升,埚升,晶转,埚转速度显示调整板;
2.TDR06-MOT-OUT为晶升,埚升,晶转,埚转速度给定调整板;
3.在调整速度给定时,必须结合晶升,埚升,晶转,埚转所对应速度单机中的驱动板来调整。
4.在速度调整时,面板上的“F”均代表满度调试,“Z” 均代表零点调试,必须结合晶升,埚升,晶转,埚转所对应速度单机中的驱动板来调整。
直流单机调试
一.晶升部分`
1.逆时针旋转HX-SEED2手操器的电位器为零;
2.在“控制器F2”中“直径控制器”的“控速输出(mm/min)”给定数据0.50~~~、~~
温度单机调试
一.校表头
1.炉体装入加热器后,调节“加热电流(KA)”与面板右上机械电流表相等,调节电位器是“TDR06-MES01板”中第一个电位器。
2.炉体装入加热器后,调节“加热电压(V)”与面板右上机械电压表相等,调节电位器是“TDR-TEMP-CPU板”中第二个电位器I1。
二.加热控制板调试。在电柜后面右侧端子电压端子处接入示波器,如无加热器需同时接入其它负载如串连两只灯泡36V100W。
1.零点调试。在欧陆表OP值给到20时,示波器的波形略微出来一些大约有1/3格的长度。需要调节的电位器是TDR-TEMP-CON板中第三个电位器RW3(Z)。
2.电压反馈调试。在欧陆表OP值给到50左右时或者电压加到40V左右时,看着电压表拧TDR-TEMP-CON板中第一个电位器RW2(V),逆时针拧表头指针会减小直到停止,然后顺时针慢拧看到指针略微增大即可。
3. 过流调整。把TDR-TEMP-CON板中第二个电位器RW1(I)顺时针调到头,由欧陆表给定,使电流加到2.2KA左右,逆时针缓慢拧回直到过流报警即可.退回欧陆表到零,再加到过流点看是否校准。
4. 三相平衡调试。需要调节的电位器分别是TDR-TEMP-CON板中第四个电位器RW4(TA)、、、、~
1
TDR06-MOT-IN
○POW
F SL DIS
F SL(AD)
Z SL(AD)
F CL(AD)
Z CL(AD)
F SR(AD)
Z SR(AD)
F CR(AD)
Z CR(AD)
F DIA
Z DIA
TDR06-MOT-OUT
STOP
SL1 SL2
SR1
SR2
CR
SET POINT
F SL
Z SL
F CL
Z CL
F SR
Z SR
F CR
Z CR
TDR06-MOT-IN
POW
F SL DIS
F SL(AD)
Z SL(AD)
F CL(AD)
Z CL(AD)
F SR(AD)
Z SR(AD)
F CR(AD)
Z CR(AD)
F DIA
Z DIA
TDR-TEMP-COM
○ I-OVER
RW2 V 电压反馈
RW1 I 过流调整
RW3 Z 零点调试
RW4 TA
RW5 TB 三相平衡
RW6 TC
TDR06-MES01
○ I-OVER
RW2 V 电压反馈
RW1 I 过流调整
RW3 Z 零点调试
RW4 TA
RW5 TB 三相平衡
RW6 TC
TDR06- MET01
RUN
CAN
LENGTH
SL CL
FAIN1
ZAIN1
FAIN2
ZAIN2
F
Z
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