单晶TDR06-PCC速度单元调试手册.doc

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单晶TDR06-PCC速度单元调试手册

单晶TDR06-PCC速度单元调试手册 1.TDR06-MOT-IN为晶升,埚升,晶转,埚转速度显示调整板; 2.TDR06-MOT-OUT为晶升,埚升,晶转,埚转速度给定调整板; 3.在调整速度给定时,必须结合晶升,埚升,晶转,埚转所对应速度单机中的驱动板来调整。 4.在速度调整时,面板上的“F”均代表满度调试,“Z” 均代表零点调试,必须结合晶升,埚升,晶转,埚转所对应速度单机中的驱动板来调整。 直流单机调试 一.晶升部分` 1.逆时针旋转HX-SEED2手操器的电位器为零; 2.在“控制器F2”中“直径控制器”的“控速输出(mm/min)”给定数据0.50~~~、~~ 温度单机调试 一.校表头 1.炉体装入加热器后,调节“加热电流(KA)”与面板右上机械电流表相等,调节电位器是“TDR06-MES01板”中第一个电位器。 2.炉体装入加热器后,调节“加热电压(V)”与面板右上机械电压表相等,调节电位器是“TDR-TEMP-CPU板”中第二个电位器I1。 二.加热控制板调试。在电柜后面右侧端子电压端子处接入示波器,如无加热器需同时接入其它负载如串连两只灯泡36V100W。 1.零点调试。在欧陆表OP值给到20时,示波器的波形略微出来一些大约有1/3格的长度。需要调节的电位器是TDR-TEMP-CON板中第三个电位器RW3(Z)。 2.电压反馈调试。在欧陆表OP值给到50左右时或者电压加到40V左右时,看着电压表拧TDR-TEMP-CON板中第一个电位器RW2(V),逆时针拧表头指针会减小直到停止,然后顺时针慢拧看到指针略微增大即可。 3. 过流调整。把TDR-TEMP-CON板中第二个电位器RW1(I)顺时针调到头,由欧陆表给定,使电流加到2.2KA左右,逆时针缓慢拧回直到过流报警即可.退回欧陆表到零,再加到过流点看是否校准。 4. 三相平衡调试。需要调节的电位器分别是TDR-TEMP-CON板中第四个电位器RW4(TA)、、、、~ 1 TDR06-MOT-IN ○POW F SL DIS F SL(AD) Z SL(AD) F CL(AD) Z CL(AD) F SR(AD) Z SR(AD) F CR(AD) Z CR(AD) F DIA Z DIA TDR06-MOT-OUT STOP SL1 SL2 SR1 SR2 CR SET POINT F SL Z SL F CL Z CL F SR Z SR F CR Z CR TDR06-MOT-IN POW F SL DIS F SL(AD) Z SL(AD) F CL(AD) Z CL(AD) F SR(AD) Z SR(AD) F CR(AD) Z CR(AD) F DIA Z DIA TDR-TEMP-COM ○ I-OVER RW2 V 电压反馈 RW1 I 过流调整 RW3 Z 零点调试 RW4 TA RW5 TB 三相平衡 RW6 TC TDR06-MES01 ○ I-OVER RW2 V 电压反馈 RW1 I 过流调整 RW3 Z 零点调试 RW4 TA RW5 TB 三相平衡 RW6 TC TDR06- MET01 RUN CAN LENGTH SL CL FAIN1 ZAIN1 FAIN2 ZAIN2 F Z

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