扫描探针的显微镜spm、afm.pdf

扫描探针显微镜（scanning probe microscope,SPM） 一、 设备简介： 该仪器集成原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(LFM)、扫描隧道 显微镜(STM)、磁力显微镜(MFM)和静电力显微镜(EFM) 于一体，具有 接触、轻敲、相移成像、抬起等多种工作模式，能够提供全部的原子 力显微镜 (AFM) 和扫描隧道 (STM) 显微镜成像技术，可以测量样品 的表面特性，如形貌、粘弹性、摩擦力、吸附力和磁/电场分布等等。 ●分辨率 原子力显微镜(AFM)：横向 0.26nm, 垂直 1nm（以云母晶体标定） 扫描隧道显微镜(STM)：横向 0.13nm, 垂直 0.1nm（以石墨晶体标定） ●机械性能 样品尺寸：最大可达直径12mm，厚度 8mm 扫描范围：125X125μm，垂向1μm ●型号： Veeco NanoScope MultiMode 扫描探针显微镜 本次培训着重介绍该设备常用模式：Contact Mode AFM 二、AFM 独特的优点归纳如下: (l)具有原子级的超高分辨率。理论横向分辨率可达 0.1nm，而纵向 分辨率更高达0.01nm。，从而可获得物质表面的原子晶格图像。 (2)可实时获得样品表面的实空间三维图像。既适用于具有周期性结 构的表面，又适用于非周期性表面结构的检测。 (3)可以观察到单个原子层的局部表面性质。直接检测表面缺陷、表 面重构、表面吸附形态和位置。2012 is coming (4)可在真空、大气、常温、常压等条件下工作，甚至可将样品浸在 液体中，不需要特殊的样品制备技术。 三、AFM 的基本原理: AFM 基于微探针与样品之间的原子力作用机制。以带有金字塔形 微探针的“V”字形微悬臂(Cantilever)代替 STM 的针尖，当微探针 在z 向逼近样品表面时，探针针尖的原子与样品原子之间将产生一定 -8 -12 的作用力，即原子力，原子力的大小约在10 ~10 N 之间。与隧道电 流类似，原子力的大小与探针一样品间距成一定的对应关系，这种关 系可以由原子力曲线来表征一般而言，当探针充分逼近样品进入原子 力状态时，如两者间距相对较远，总体表现为吸引力;当两者相当接 近时，则总体表现为排斥力。原子力变化的梯度约为10-13N/nm。原子 力虽然很微弱，但是足以推动极为灵敏的微悬臂并使之偏转一定的角 度。因此，微悬臂的偏转量与探针一样品间距成对应关系，在对样品 进行XY 扫描时，检测这一偏转量，即可获得样品表面的微观形貌。 图表 1 AFM 原理示意图 图表 2 AFM 测试点示意图 四、启用 AFM(contact)功能测试步骤： 开机顺序： 开启设备电脑开关及双屏显示器； 开启显微镜光源； 开启光学显微镜CRT 显示器电源； 将设备主部隔尘罩小心地取下，将显微镜调整至设备主机方向， 光斑打到载物台中心处； 打开设备主机电源，在主机 controller 的控制板上，确认AFM 模 式； 打开pc 中的 软件，激活软件与设备主机连接图标； 在软件中设置当前样品需要的扫描范围，台阶高度，扫描速度等 参数；台阶高度不可超多 1μm，扫描速度设置在 5μm/s 以内为 宜； 倾斜着取下 AFM 针夹具，倒置于滤纸上，放于衣袖碰触不到的地 方，以免碰伤悬臂 放样品，样品粘于专用样品台片上， 调整样品位置，在 CRT 上观察确定样品测试点位于下针位置附近； 放置 AFM 测试夹具，一定要小心，注意观察悬臂与样品表面的距 离，若相距太近，则将测试夹具小心取出，放置妥当后，使用手 动抬针方法将三个支柱抬高，同时保证三支柱设备光路台面水平； 高度调节到安全距离以后，小心地放入AFM 针测试