电子束微影正型阻剂-国家试验研究院.DOCVIP

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 電子束微影正型阻劑 招標規範書 招標規範書目錄 產品規格 規格樣式 TDUR-P015（或同等品） Chemical name： Application： 阻劑型式: 電子束放大型阻劑(CAR) 阻劑黏滯系數: 5cp 阻劑厚度: 420nm 顯影液 TMAH 2.38% 解析度 200nm line/space曝光劑量小於45μC/cm2 保存期限 至少6個月 同等品者，需由廠商提供測試樣品200ml，並檢附相關製程測試報告，經本實驗室測試通過後，方可進行開標。 規範書釋疑聯絡人 投標廠商對本規範書有任何問題，請於招標釋疑期限內向本實驗室微影與光罩製作組 劉正財聯絡， 電話：03-5726100，分機7649。 履約期限 得標廠商需於民國99年11月10日前完成交貨。 運送過程 運送過程須保持在光阻原廠規範的環境中，如溫度、溼度、及避免光線照射等。 驗收條件 隨貨需附上出貨，以利於辦理驗收作業。 財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室 購案編號： NDL-P-099142 頁數： 4 OF 4 購案名稱： 電子束微影正型阻劑 4 本文件為財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產，非由書面許可，不准透露或使用本文件，亦不准複製或轉變成任何其他形式使用。 財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室 購案編號： NDL-P-099142 頁數： 1 OF 4 購案名稱： 電子束微影正型阻劑