一种抗灰尘的近场承载微工作台设计-光学精密工程.pdfVIP

第 12 卷 　第 3 期 光学 精密工程 Vol . 12 　No . 3 2004 年 6 月 　　 Optics and Precision Engineering 　　Jun . 2004 ( ) 文章编号 　1004924X 2004 一种抗灰尘的近场承载微工作台设计 赵大鹏 ,李庆祥 ,李玉和 ,訾艳阳 ,王 　亮 ,彭海成 (清华大学 精密仪器与机械学系 ,北京 100084) ( ) 摘要 :为满足近场光存储的高密度 、高速度和集成化的要求 ,提高近场界面耦合效率 ,消除灰尘对固体浸没透镜 SIL 的 磨损 ,设计了一种新型的承载微工作台 ,并建立了系统动力学模型 。微工作台正负压力并存的结构极大地提高了承载刚 度及工作稳定性 ;气垫面的V 形轨道设计及独特的负压力布局有效减少了流入 SIL 底面的灰尘颗粒 ; SIL 底面刻饰的凸 台有利于获得较高的近场耦合效率 , 同时减小了与盘面碰撞的概率 。理论分析和计算表明 ,微工作台的近场间距小于 50 nm ,承载力可达 88 mN ,SIL 底面灰尘颗粒明显减少 ,微工作台具有良好的工作姿态 ,满足了近场光存储的需要 。 关 　键 　词 :微工作台;气垫面 ;V 形轨道 ,负压力 ;近场光存储 中图分类号 :TH703 　　文献标识码 :A Design of a subminiature antiparticles loadsupporting stage for nearfield optical storage ZHAO Dapeng , L I Qingxiang , L I Yuhe , ZI Yanyang , WAN G Liang , PEN G Haicheng ( State Key L aboratory of Precision Measurement Technology and Instruments , Tsinghua University , B eij ing 100084 , China) Abstract : In order to meet the requirements of the nearfield optical storage system for higher density , higher com munication speed and integration , a subminiature antiparticles loadsupporting stage was designed for low wear and high nearfield coupling efficiency . A model of air bearing surface was investigated and solved using the finite vol ume method for analysis of the flying characteristics. The abundant negative pressure sufficiently enhances the stiff ness and stability of the stage . The wedgeshaped rails and the novel distribution of negative f