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2520 系统
孙 静 陈晓华 韩利华
(河北半导体研究所)
摘 要 随着半导体技术的不断发展，新型器件不断涌现，相应地，出现了大量的半导体专用测量仪器。因
此，对计量工作提出了更新、更高的要求。详细介绍了2520型脉冲激光二极管测试系统的校准和测试方法。该系
统用于激光二极管和光电二极管的参数测试。系统包括激光二极管测试所需的大电流源和电压表，还包括双通道
光电二极管测试所需的两个稳定的DC偏置电压源和两个低噪声电流表。介绍了系统的指标和工作原理，重点介
绍了光电二极管测鼍部分和激光二极管测量部分的校准，还介绍了使用脉冲电流输出时的原理和测试要点。对该
系统的使用人员和校准人员，很有参考价值。详细介绍了2520型脉冲激光二极管测试系统的校准及测试方法。
关键词 2520脉冲激光二极管测试系统校准
Researchon andMeasurementMethodsof
theCalibration
Model2520PulsedLaserDiodeTest
System
SUN CHENXiao—-huaHANLi—-hua
Jing
of
Centerofthe13thResearchInstituteChinaElectronics
(Metrology TechnologyGroupCorporation)
AbstractWiththe ofsemiconductor newdevicesare
development technology，many produced，and
lotsof instrumentsarecreated setsforthnewerand
semiconductormeasurement accordingly．This higher
andmeasurementmeth。
on andcalibration．r11lisintroducesthecalibration
requirementsmetrology paper
odsof model2520 laserdiodetest indetail．r11leisusedfor
newlyproduced pulsed system system para-
and diode．Itcontainscurrentsourceand me—
metricmeasurementoflaserdiodephotoelectric high voltage
terusedforlaserdiode alsocontainstwostableDCbias sourcesandtwolownoise
measurement，it voltage
thecharacter-
currentmetersusedfordualchannel diodem
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