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铬过渡层对银膜光学性质及附着力的影响
第 33 卷 第 12 期 中 国 激 光 Vol . 33 , No . 12
2006 年 12 月 C H IN ESE J OU RN AL O F L A SER S December , 2006
文章编号 :(2006)
铬过渡层对银膜光学性质及附着力的影响
孙喜莲1 ,2 , 邵建达1
( 1 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海 20 1800 ;2 中国科学院研究生院 , 北京 100039)
摘要 研究了在玻璃基底上采用不同厚度的铬膜作过渡层 ,对银膜的光学性质及其附着力的影响 。光谱测量结果
表明 ,随着铬膜层厚度的增加 ,银膜的反射率先增大后减小 。与直接镀在玻璃基底上的银膜的反射率相比,铬膜层
厚度为 8~14 nm时 ,银膜的反射率较低 ;铬膜层厚度为 17 ~2 1 nm 时 ,银膜的反射率得到提高 ,其中铬膜厚度为
17 nm时 ,银膜的反射率最高 ;继续增加铬膜层的厚度 ,银膜的反射率又降低 ,说明采用一定厚度的铬膜作过渡层可
( )
以提高银膜的反射率 。X 射线衍射 XRD 结构分析表明 ,一定厚度的铬膜改善了银膜的结晶程度 ,使薄膜的晶粒
度增大 ,晶界散射及缺陷减少 ,从而使应变减小 。剥落实验证明薄膜与玻璃基底之间的附着力也得到了提高 。
关键词 薄膜 ;银膜 ;微结构 ;光学性质 ; 附着力
中图分类号 O 484 . 4 文献标识码 A
Eff ect of Cr Interlayer on the Optical Properties and Adhesion of Ag Fil ms
SU N Xilian1 ,2 , SHA O J ianda1
1 S hang hai I ns ti t ute of Op tics an d F i ne M echanics , The Chi nese A ca demy of S ciences , S hang hai 20 1800 , Chi na
2 Gra d uate S chool of t he Chi nese A ca demy of S ciences , B eij i ng 100039 , Chi na
Abstract Op tical p rop erties and adhesion of A g film s wit h Cr int erlayer of different t hickness on gla ss sub st rat es
were investigat ed by u sing sp ect rop hotomet er and Xray diff raction ( XRD) . The sp ect ra result s showed t hat t he
reflectivit y of A g film s increased wit h t he t hickness of Cr int erlayer increa sing f rom 8 to 17 nm and t hen decrea sed
wit h increasing Cr film t hickness to 24 nm . Comp ared wit h p ure A g film s on gla ss sub st rat es , t he reflectivit y of A g
film s wit h 17~2 1 nm Cr int erlayer wa s
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