探针法测试半导体电阻率时的厚度修正.pdfVIP

测量与设备 论四探针法测试半导体电阻率时的厚度修正 宿昌厚 鲁效明 （北京工业大学电子信息与控制工程学院，北京 ） （中国计量科学研究院，北京 ） !## !!$ 摘 要 论述了用四探针法测量半导体片电阻率时，怎样更好地进行厚度修正，结果才更准确。首先讲述经 典四探针法中从厚块原理出发和从薄层原理出发测试体电阻率的原理及其分界点，再论述双位组合四探针法中实 现厚度修正的特点，并给出修正函数计算式及一部分修正函数数据表。 关键词 电阻率；厚度修正；四探针法 ）立足于厚块原理 ! 引言 % #$ · · （）（ · ） （ ） ’ # #! % ! 用四探针法测试半导体电阻率时，当被测样品 ! $ !( 厚度值不能满足理论上提出的相应的要求时，必须 ）立足于薄层原理 # 对测试值加以“厚度修正”。设! 为被测样品真实 % ! #$ · · · （）（ · ） （ ） ’ ! # % # ! $ )*# ( 厚度，一般以 为单位。在进入测量过程后，探针 !( % 式中， （）和 （）分别是对应两种原理时的厚 间距 （平均探针间距值）就起着重要作用（如图 # # ( ）。 度修正函数，其表达式如下： ! （） 被测样品是厚还是薄，是与 相比较而言， # ’ 成为量度厚度的单位，厚度在此是个相对概念。所 , （ ! - ! ）-! （） ［ ! ］ $