电子光学中四极场分布的半解析法计算.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２０ ７ Ｖｏｌ．２０Ｎｏ．７ 　 　 年 月 ， ２００８ ７ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｊｕｌ．２００８ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００８０７１２０３０６ 　 电子光学中四极场分布的半解析法计算 ， １２ １ １ １ 韩 亮 ， 赵玉清 ， 王炎武 ， 杨拉毛草 　 　 　 　 （ 西安交通大学 电子物理与器件教育部重点实验室，西安 ； 西安电子科技大学 技术物理学院，西安 ） １． ７１００４９ ２． ７１００７１ 　 摘 要： 采用一种新的半解析法，对电子光学中 种不同形状电极产生的四极场进行分析计算。半解析 ３ 　　 　 　 法中极点的确定方法简单有效，可以结合电极的形状填充等效源，并且极点位置确定极为精确。在四极场的计 算中，该方法具有表达式简单，求解变量少，而且计算精度和效率高的优点。对凸圆柱电极、内凹圆柱电极以及 平板电极产生的四极场进行了求解，并将计算结果进行了比较，应用半解析法在计算凸圆柱电极产生的四极场 具有更为明显的优势，精度可达 ０．００１％。由于半解析法可得出标量电位函数的解析级数表达式，因此，场强 的计算更加简便，同时也更容易保证场强的计算精度，这也有利于四极场的设计和优化。 关键词： 电子光学； 四极场； 半解析法； 极点； 电位 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： Ｏ４６３ 文献标志码： Ａ 　　 　 　　　　 　 在电子光学领域诸多的应用中，电磁多极场起着关键的作用。例如，在电子束器件中聚焦，电子显微镜中 　　 校正像差等。而四极场系统是多极场的典型应用，被广泛应用于四极质谱仪器中作为偏转聚焦元件或在加速 ［ ］ １３ 器中作为传输元件 。静电四极场是由平行于 轴的 根柱形电极构成的，电极在 方向的长度要比电极之 狕 ４ 狕 间的间距大得多。计算中，端口的边缘效应可以忽略，两相对的电极取相同电位，在 方向为正， 方向为 狓 狔 ［］ ［］ ［］ ［］ ４ ５ ６ ７ 负 。在静电四极场的研