基于OBE教学模式的半导体制造工艺课程教学改革.docVIP

基于OBE教学模式的“半导体制造工艺”课程教学改革 杨德超 张颖 王莉 曹海燕 宗杨 宋文斌 大连东软信息学院电子工程系 X 关注成功！ 加关注后您将方便地在 我的关注中得到本文献的被引频次变化的通知！ 新浪微博 腾讯微博 人人网 开心网 豆瓣网 网易微博 摘????要： 针对“半导体制造工艺”课程的特点, 结合ONE教学理念, 针对我国高校微电子专业课程建设中普遍存在的问题, 提出了“半导体制造工艺”课程的改革方案。改革以学生为中心, 内容涵盖教学的各个方面, 将理论教学与实地动手实践紧密结合, 提高教学质量, 使学生的各方面能力得到全面锻炼与提升。 关键词： OBE教学模式; 半导体制造工艺; 理论结合实际; 作者简介：杨德超 (1983—) , 男, 辽宁大连人, 研究生学历, 博士学位, 副教授, 现供职于大连东软信息学院, 主要从事宽禁带半导体材料与器件制备研究。 1 引言 OBE是Outcome-Based-Education的缩写, 全称为“基于成果的教育”或“成果导向教育”, 于1981年最早被提出, 目前已经成为世界上最先进的教育改革理念[1]。该理念也被《华盛顿协议》所接受, 成为工程教育认证的标准之一。 与传统的教育模式相比, OBE教育模式强调以“学生为中心”, 一切教育活动、教育过程和内容设置都围绕学生进行, 让学生得到预期的学习结果。同时强调毕业生要求达成的能力[2], 从最终的结果反向设计教学体系。两中教学模式的差异如表1所示。 表1 基于OBE的教学模式与传统教学模式的差异 ?? 下载原表 本文基于OBE教育模式, 针对“半导体制造工艺”课程以往教学中存在的主要问题, 探讨了基于OBE教学理念下“半导体制造工艺”课程的教学改革与实践方案。 2 以往教学中存在的主要问题 2.1《半导体制造工艺》课程设计过于偏重理论教学 《半导体制造工艺》课程是微电子科学与工程专业的核心主干课程, 课程强调学生对于半导体制造工艺理论的学习和结合工艺设备实践操作的动手能力。然而, 当今国内各大高校微电子专业普遍存在的情况是重理论而轻实践, 即:工艺课程大部分是在课堂中进行理论知识讲鞥解, 理论知识是抽象难懂, 往往造成学生缺乏学习兴趣, 学习效果不好。 2.2 课程对于学生实践能力和创新能力的培养不够 目前, 半导体制造工艺课程大部分是在课堂中进行, 结合工艺设备的实践环节只占很少课时。学生只是学习理论知识, 而对工艺设备没有完整和直观的认识, 没有实地动手操作设备制备工艺样品, 工程实践能力和结合实际工作环境的创新能力不能得到很好的锻炼。 2.3 现存的工艺课程实验指导书不够全面和完整 目前, 半导体制造工艺类课程仅有对应单一的一个实践环节的实验指导书, 而且指导书在内容和形式方面也比较陈旧, 不能满足不断发展的《半导体制造工艺》课程的上课需要。 3 基于OBE的教学改革与实践 基于OBE教学模式, 针对课程的特点和存在的一系列问题, 我们对《半导体制造工艺》课程进行了改革。改革内容涵盖教学方法、教学手段、教学内容、教学评价等方面。将教学设计与进行的出发点和落脚点转到学生, 以学生为中心, 让学生得到理论结合实际的全方位锻炼, 提高综合能力。 3.1 教学方法方面 主要采用指导教学法与问题讨论法相结合。 3.1.1 用基于工作过程导向的指导教学法进行理论教学 教师充分备课, 按教学内容及工业生产实际案例, 循序渐进地引导学生理解课程的重点和难点, 让学生掌握专业知识的概念、理论和设备相关的技能。 3.1.2 成果引导、任务驱动进行实践教学 以实际工作过程的方式布置实践内容, 学生通过认真阅读讲义、老师指导、实际操作, 进而掌握实践的内容以及重点和难点, 并完成实践项目。教师通过“实践任务”来诱发、加强和维持学生的成就动机。成就动机是学生学习和完成任务的真正动力系统。成果任务作为学习的桥梁, “驱动”学生完成任务。任务驱动教学非常适合于实践性很强的课程, 要求学生既要学好理论知识, 又要掌握实际操作技能。任务驱动教学法加强学生理论联系实际, 加深对课堂实践内容的理解, 培养学生灵活运用所学知识的能力。 3.2 教学手段方面 1) 精心设计教学课件, 通过引入当前行业最新工艺生产实例, 激发学生学习兴趣。 2) 充分利用多媒体教学系统, 进行课堂辅助教学。 a) 视频教学。在教师理论讲解及总结提高时, 结合网络视频等教学方式, 可以让学生有直观认识, 更好地理解工艺过程。 b) 个别辅导。在学生课堂实践练习时, 教师可以通过多媒体教学系统集中讲解学生遇到的问题, 也可进行个别辅导。同时, 教师也可以将学生优秀作品进行展示。 3) 文档收发。每次课后及时收集学生的实验报告和调研报告等文档, 掌