西北工业大学微-纳米系统实验室超净间安全手册.pdfVIP

NORHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 西北工业大学微/纳米系统实验室 超净间安全手册 (Clean Room Safety Manual) 制定人：乔大勇 日期：2004 年 5 月 （生效）实验室主任签字： 日期： 年 月 日 微/纳米系统实验室 NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间安全手册 基本培训要求 超净间基本安全守则 违反以下规定之使用者，依据情节轻重，根据超净间处罚条例，由超净间主管处以禁入本超净间一周 以上的处罚 场地安全规定 1) 要带入超净间的仪器、工具、硅片和掩模盒请在在更衣室进行清洁 2) 容易产尘的用具：如普通纸张、铅笔、橡皮擦、蜡笔、木制品、铁制品请勿带入超净间 3) 一般使用者不得私自进入空调站，纯水房，灰区 4) 请将随身物品放入储物柜而非带入