课件薄膜物理.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 反射电子显微镜 原 理 使用范围 对样品表面缺陷的微观结构研究 优 势 直观分析表面形貌，研究表面台阶和重构 对样品表面缺陷的微观结构研究 电子衍射 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 反射电子显微镜 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 反射电子显微镜 场电子显微镜FIM * 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 场离子显微镜 原 理 使用范围 表面单个原子的化学成分，研究样品表面原子结构和原子运动行为 被测样品必须为针状 正高压作用下发射离子 局 限 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 场离子显微镜 主要应用 1 研究空位和自填隙原子 2晶粒间的结构和形貌 3由于成核和生长产生的相分离 4有序-无序的变化 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 场离子显微镜 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 场离子显微镜 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 场离子显微镜 2晶粒间的结构和形貌 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 场离子显微镜 3由于成核和生长产生的相分离 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 场离子显微镜 4有序-无序的变化 扫描隧道显微镜STM * 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 扫描隧道显微镜 原 理 使用范围 利用量子力学的隧道效应测物质表面结构的非光学显微镜 半导体，金属表面原子尺寸的微观结构 优 势 观察和定位单个原子，比一般原子力显微镜分辨率高 低温下（4K）可利用探针尖端精确操纵原子 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 扫描隧道显微镜 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 扫描隧道显微镜 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 扫描隧道显微镜 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 扫描隧道显微镜 加拿大多伦多大学 化学家杨申云 12个溴原子通过分子的自我组合排成一个圆圈 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 扫描隧道显微镜 原子力显微镜AFM * 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 原子力显微镜 原 理 使用范围 扫描隧道显微镜 针尖轮廓曲线仪 绝缘体，半导体，导体表面原子尺寸的微观结构 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 原子力显微镜 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 原子力显微镜 * * * * * * * * * * 共51页 《薄膜物理》 薄膜生长过程中的微观结构研究 蒋励 * 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 参考文献 《薄膜物理》 作者:薛增泉页数:485?? 出版日期:1991年09月第1版 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 目录 引 言 薄膜的形成过程 生长中缺陷的掺和 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 反射电镜研究表面台阶的重构 场离子显微镜研究表面原子的扩散徒动和脱附 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 思路 薄膜特性 直接观测手段 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 反射电镜 场离子显微镜 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 薄膜的形成过程 生长中缺陷的掺和 表面台阶及重构 表面原子 扩散徒动和脱附 微观 引 言 * 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 引言 薄 膜 定 义 制 备 方 法 薄 膜 分 类 制 备 规 律 及 原 则 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 引言 薄 膜 定 义 在厚度方向（Z）为10A~几十um厚， 而X，Y方向无限延长的固体材料 薄 膜 分 类—结构 单晶膜 多晶膜 非晶膜 含金属颗粒膜 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 引言 制 备 方 法 1。块体材料切割或解离。Eg：云母，Si 2。在基底上镀制薄膜 气相液相沉积 真空蒸积 溅射沉积 严格控制的外延生长 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 引言 制备规律及原则 制备影响条件 制备原则 适合的基底 沉积速率 温度 向自由能更低，更稳定方向转化 薄 膜 形 成 过程 * 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 薄膜的形成过程 临界核形成 粒子 长大 形成迷津结构 连续薄膜 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 薄膜的形成过程 16A 16A 43A 16A 33A 190A 55A 68A 16A分散粒子膜 33A岛长大接合 43-55A迷津结构 68-190A连续薄膜 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 薄膜的形成过程 临界核的形成 临界核（2-3原子）过小，不易观测 薄膜生长的微观结构研究 共51页 * 薄膜的形成过程 岛的长