微波等离子体化学气相沉积法低温合成纳米碳管研究.pdfVIP

摘要 Y 541466 摘 要 纳米碳管的用途非常广泛。在众多的潜在用途中，纳米碳管的应用有望在场 发射器方面取得突破。由于纳米碳管的场发射性能与纳米碳管的方向有关，同时 要求纳米碳管的合成温度低于基板材料所能承受的温度，因此高度定向的纳米碳 管的低温制备是当前的一个重要研究方向。 本论文充分利用微波等离子体化学气相沉积法低温合成材料的特点，在低温 条件下制备了纳米碳管，获得了较好的工艺条件。研究发现，合理调节碳源流速， 或针对纳米碳管的稳定性高于无定形碳的特点，选择合适的碳源，利用氧离子以 及含氧基团的选择性刻蚀作用，加强等离子体对无定形碳的刻蚀，可以在低温条 件下直接合成纯度较高的纳米碳管。 在初步确定纳米碳管的低温制备的工艺基础上，利用微波等离子体化学气相 沉积法在多种基板表面，特别是在一些特殊的非平面表面上首次低温合成了垂直 于多种基板表面定向生长的纳米碳管，分析了催化剂颗粒分布密度及等离子体作 用对纳米碳管定向生长的影响。分析认为，存在于纳米碳管之间的密集效应和等 离子体在基板表面产生的自偏压的共同作用是纳米碳管低温定向生长的重要原 因 针对低温条件下纳米碳管易弯曲变形的特点，从准一维碳材料的形成机理出 发，在建立扩散模型的基础上，得出了催化剂形状的不对称及扩散的不均衡是造 成准一维碳材料弯曲的主要原因的结论，指出合金催化剂的制备是合成直纳米碳 管的有效方法。通过调整电镀液配方，在镍片上负载了合适的合金催化剂，并合 成了形状及结构良好的直纳米碳管膜。 上述研究结果表明，微波等离子体化学气相沉积法在纳米碳管的低温制备方 面具有显著的优越性，这无疑会扩大纳米碳管的使用范围，对纳米碳管在场发射 方面的应用起到极大的促进作用。 关键词:定向纳米碳管，直纳米碳管，微波等离子体化学气相沉积法，场发射 微波等离子体化学气相沉积法低温合成纳米碳管 Synthesisofcarbonnanotubesthroughmicrowaveplasma chemicalvapordepositionatlowtemperature WangShenggao(Nuclearscienceandengineering) DirectedbyProfessorWangJianhua ABSTRACT Amongthehugerangeofpotentialapplications,fieldemitterscanheraldtheuse ofcarbonnanotubes.Alignmentofcarbonnanotubesisparticularlyimportantto enablefundamentalstudiesandapplications.Somemethodsweredevelopedto producealignedcarbonnanotubes.Butmostofthesynthesistemperatureistoohigh tobesuitableforthefabricationofdevices.So,synthesisofalignedcarbonnanotubes atlowtemperaturehasbecomeachallengingissue. Inthispaper,carbonnanotubesweresynthesizedbymicrowaveplasmachemical vapordepositionatlowtemperatureandtheeffectsofprocessparametersonthe synthesisofcarbonnanotubeswerestudied.Becausecarbonnanotubesaremore stablethancarbonaceousparticles,highpuritycarbonnanotubescanbeobtainedby de