浅析薄膜结构对传感器灵敏度的影响研究.pdfVIP

第十届全国化学传感器学术会议论文摘要集 E电化学传感器 E23浅析薄膜结构对传感器灵敏度的影响 杨英’，陈向东 (西南交通大学信息科学与技术学院成都610031) 摘要：文章在电阻式半导体薄膜气体传感器薄膜姑构的基础上提出了的具有三维敏感效应的薄膜结构模型， 用简单的计算模型分析了薄膜气体传感器敏感材料不同结构时的灵敏度。并与具有传统的表面连续的薄膜传感器 进行了比较。得出了有益的结论． 自20世纪60年代起。电阻式金属氧化物气体传感器就得到了迅速的发展，并且。在民用、工 业和环境检测三大主要领域n1取得了较广泛的应用，而从材料工艺和性能设计方面开发高性能的 传感器是当今气体传感器发展的关键问题嘲。灵敏度是衡量传感器在实际应用中性能的重要参数 之一。近年来，有人分析了气敏薄膜的膜厚对气体响应时间的影响，得出了薄膜对气体的响应速 率随膜厚增加而急剧减小的结论。而本文分析了不同薄膜结构对半导体气体传感器灵敏度的影 响。 1基本结构与性能分析 电阻式气体传感器的工作原理主要是基于电极间敏感薄膜的电导或电阻随周围环境气体浓 度的变化而工作的。薄膜传感器通常采用交叉电极和厚度均匀、表面连续的长方体敏感薄膜结构， 气体只能由敏感材料上表面向其内部扩散，从而引起电导率的变化。本文将这种薄膜的连续表面 改进成了表面突兀离散型结构，即由三棱柱或半圆柱体连续排列组成薄膜表面。 1．1结构模型 假定薄膜是由粒子在村底表面一层一层排列而成的填充结构，电子的移动是发生在每层内部 的。而层与层之间不发生电子的流动。则薄膜结构等效为层与层之间电阻并联的电路形态。相应 的纵向也可以看做多个截面积相同的小电阻的并联，故在分析灵敏度时。只计算不同结构的最小 相异单元即可，如图1所示． 阁粼。酗 曲塔裔 L刈囤剧 (a) (b) (c) 图1敏感单元截面图 1．2气体浓度和电阻与薄膜结构的关系 由于气体在某一种薄膜材料中的扩散深度是一定的。设为U，以此来约束离散高出薄膜部分 的尺寸，如图l。假设气体是垂直薄膜表面向内部扩散的，且相邻单位面积表面之间的扩散互不 影响． 首先，气体浓度满足稳态扩散连续性方程式咖，而实际很难求得电阻与气体浓度的关系，根 据目前的经验研究结果‘3川，气体传感器的导电率与气体浓度有如下关系： 134 第十届全国化学传感器学术会议论文摘要集 E电化学传感器 仃=AC口 (1) 式中口为导电率，大约为l；A为常数。 假设气体扩散深度为日；粒子层的深度为石：从表面起的第一层为坐标原点：k为层数 (k=l，2,3，…，n)；因为实际中C(x，f)的解很难求得，所以，从数学处理的简化角度考虑，把气体体 积分数假定为工的线性函数，可得到下式 (2) C(X，t)=Co-a(t)x 式(2)中，斜率a是时间函数，同时和气体响应特性常数K、扩散系数D以及注入的气体体积 分数G有关陆1。综上所述，式(1)可以表示为 cro：Alc0一胡掣l (3) a)三棱柱结构 如图1所示的尺寸，由于假设气体是垂直薄膜表面向内部扩散的，且相邻表面之间的扩散互 不影响。故被检测气体由截面等腰三角形两腰向薄膜体内扩散，则能同时接收到来自两腰的气体 的部分薄膜的电导率可简单记为200，其余部分电导率为％，则三棱柱体的电导计算公式为： 掘∥ DI砸一1)酽2叫(压一1)日 (4)L为薄膜的长度，计算得：仃z +辛