用Ｘ光透镜的衍射装置.pdfVIP

第十层全国电子束 离子束光子束学术年会 用X光透镜的衍射装置 王大椿.李玉德，陈俊，赫业军.颇一鸣 (北京师范大学低能核物理研究所北京市辐射中心。北京 100875) 摘要:用整体平行束X光透镜代替常规衍射仪的附加狭缝或索拉狭缝，衍射X光强度可提高 1.5-5倍，分辞率可达0.a，可用于薄膜、粉末样品和离子注入样品的分析。 关健词;X衍射;X光透镜;X光聚束系统 1 引 言 常规X射线衍射装置(Soller衍射仪)是由X光管、转角仪和探测系统等几部份组成。衍 射装置的平行X光是靠两组Soller狭缝、发散狭缝、防散射狭缝、接收狭缝等光阑系统对Y光 发散部分的限制而得到。由于Soller狭缝的透射率最好的只有70%，差的只有50%，或更小; 发散系列化民不能开得很大，一般为1左‘右，这一切都使人射光强和衍射光强都受到很大的 损失。另外，这种形式的衍射装置也不太适予薄膜样品的衍射测量。对于几百nm以下薄膜 样品由于衍射信号较弱，衍射实验往往不能按照原来的模式进行即既转动样品又转动探侧器 来测量衍射曲线，而是采用掠人射几何，即固定小的掠人射角，以增加样品的有效厚度。为了 在常规衍射仪上能进行薄膜样品的衍射测量，常用的方法是加工一套附加狭缝，即在X光源 和样品之间加一个限束狭缝，在样品和探测器之间加一个垂直的Soller狭缝113。这样一来不 仅人射X光强度因受狭峰限制而很低，而且分辨率也较差，一般)10。我们整体平行束X光 透镜代替常规衍射仪的附加狭峰或索拉狭缝，这时照射到样品上的是一束平行X光，如图1 所示。 \}/ .一 } 万二冬又造_ ,}I\. 三三三主三三今、 (1x光源 z整体平行束x光透镜 3自透镜出射的x光 4样品 5衍射X光 6光闻系统 7光X探测器) 图 1 掠人射衍射测量装置 371 一 湖南 ·长沙 我们使用整体平行束X光透镜代替附加狭缝或Soller狭缝作了初步实验。实验结果表 明:X光透镜可以提高人射X光强度，提高对薄膜样品的衍射强度，即探侧灵敏度。分辨率可 达0.4.可用于多晶薄膜、粉末样品、离子注人样品的分析。 2 整体平行束X光透镜(2] x光透镜是由大量x光导管组合而成的大功率宽波段x光聚束系统。x光在组成透镜 的每一根x光导管中进行传播，只要保持所有人射x光的掠射角小于全反射临界角的条件， 就可获得高的x光传输效率。x光透镜主要有两种类型:会聚x光透镜和平行x光透镜。会 聚x光透镜，它将发展的x光会聚成很小的束斑，这样可以大大提高x光束的功率密度。平 行束x光透镜(又称半透镜)，它将发散的x光聚焦起来，转化为平行光束，或者反过来，将平 行光束会聚成很小的束斑 平 行束x光透镜的主体结构见图2。它和会 聚透镜的仄别在于透镜后半部的x光通道是 相互平行且平行于X光轴的，从而出射的X光形成平行束。描述平行束X光透镜的几何参量 有:入口端焦距f,，人口端大小D;出口端大小DW，透镜长度、，透镜人口处对X光的收集角 。，出口端出射X光的最大角散0-。描述平行束X光透镜的物理参量有:传输效率，照野面 积 视〔场面积)，功率密度放大倍数，照野均匀度，角散，平行束透镜的增益因子和占空比等。 图2 平行束X光透镜主体结构 (1X光源 2透镜 3透镜光轴 5人射到透镜的X光 6自透镜出射的X光 7X光操侧器) 整体X光透镜的拉制方法是先将多根单X光导管组合拉制成复合管，再由复合管进行组 合并在拉丝机上一次或多次拉制成所需的X光透镜。整体X光透