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压阻式硅加速度计固有频率的解析计算.pdf

第 l5卷 第5期 上 海 电 机 学 院 学 报 VO1.1 5 NO.5 2O1 2年 JOURNAI OF SHANGHAI DIANJI UNIVERSITY 2()l 2 文章编号 2095 0020(2012)05—0312 05 压阻式硅加速度计固有频率的解析计算 邹海荣 (上海电机学院 电气学院,上海200240) 摘 要:固有频率对硅加速度计的性能影响很大。针对目前硅加速度计的固有频率计算公式 误差大的缺点,利用力学原理推导了悬臂梁式和双端梁式硅加速度计固有频率的计算公式。 计算 结果--5有限元软件仿真分析的结果相符。推导的公式能快速准确地计算压阻式硅加速度计的固有 频率,并可直接用来编程,避免了有限元仿真分析需要反复建模的复杂过程,简化了优化设计的 过程。 关键词:压阻式;硅加速度计;固有频率;悬臂梁;双端梁 中图分类号:TH 824.4 文献标志码:A Analytical Calculation for Natural Frequency of Silicon PiezOresistive Accelerometer ZOU Hairong (School of Electric Engineering,Shanghai Dianji University,Shanghai 200240,(:I1ina) Abstract:Natural frequencies affects performance of silicon acceletometers . Current eauations of natural frequencies may produce large errors in applications . For that,the reasons are studied. Equations of natural frequencies for cantilever beams and two—ended fixed beams are der ved based on the principles of mechanics . The results agree with those of finite element software simu1ation . The equation can be used to calculate the natural frequencies of piezOresistive silicon accelerafion sensors quickly and accurately. It can also be used to directly program the stru

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