钕掺杂钛酸铋自组装纳米颗粒的制备和微结构分析.pdf

2005年10月 四川大学学报(自然科学版) Oct．2005 Science VoI．42Issue2 ofSichuan Edition) 第42卷增刊2 Journal University(Natural 文章编号：0490—6756(2005)022-0207—06 钕掺杂钛酸铋自组装纳米颗粒 的制备和微结构分析 马骏，吕笑梅，阚益，顾骏，朱劲松” (南京大学固体微结构实验室，南京210093) 摘要：作者在铂村底上以旋涂不同浓度前驱体溶液。再经烘烤后退火的方法制备了一系列钕掺 杂的钛酸铋由组装蚋采颗粒．研究了Pt／Ti／Si02／Si对底的彤貌随退火时间的变化，并确定了 合理的制样退欠时间，所制备的形貌理想的分立颗粒高度约20～25nm，宽度约100～150nm． 通过x射线衍射发现，前驱体溶液的浓度越低，得到纯钙钛矿相所需的铋元素过量比越大． 关键词：纳拳蛄构；钕掺杂的钛酸铋；自组装 中国分类母：O484．1 文献标识码：A 1引言 钕掺杂的铋系层状钙钛矿结构由于具有良好的铁电性能，是迄今公认的可用于非挥发性铁电随机存储 器的侯选材料之一【l’4】．现行的铁电存储器正向着高密度、高集成化方向发展，制备存储量可达IG比特的铁 电存储器成为现在该领域的发展趋势．要达到1G比特的存储量，就要求每个铁电存储单元的尺寸在数百纳 上制备了纳米尺寸的外蓬鬏粒【51]．我们的工作是在铂衬底上以自组装的方式制备一系列钕掺杂的钛酸铋 的纳米颗粒，并研究了前驱体溶液浓度和不同的铋元素过量程度对所制备的纳米颗粒的影响， 2实验部分 Pt是常用来作为衬底电极材料使用并且被广泛研究的一种贵重金属．为了在研究过程中最大限度地 不同的时间进行遇火处理，以找到制备样品的合适退火条件．Bi32sNdo 属一有机物沉积(MOD)的方法将前驱体溶液沉积在铂衬底的表面制备而成的配制前驱体溶液的原溶液 是以硝酸铋、硝酸钕以及钛酸丁脂作为基元配制的．首先将摩尔数过量10％的硝酸铋与适量的硝酸钕溶 于冰醋酸中搅拌均匀。然后向溶液中加入适量的钛酸丁脂，搅拌后加入乙二醇甲醚使溶液的浓度达到 0 Imol／L，最后在溶液中加入数滴乙酰丙酮搅拌后就得到了化学性能稳定的BNT的溶液 将所得到的溶液用冰醋酸和7,--醇甲醚的混合液分别稀释到不同的浓度以得到制备样品所需的前驱 成分当用该步骤旋涂两层后，样品以750C在退火炉中氧气氛处理1h处理后的样品分别用扫描探针显 样品用512×512的解析度进行了5／xrnx5,urn范围的扫描，然后对样品的表面最高高度值(RⅡmx)以及均 方根平均值(RMS)进行统计．均方根平均值的计算方法为： 收稿日期：2005．08—3l 基金项目：国家自然科学基金90401014)，中国“973”计划MOST硬目基金 (2002CB613303)．江苏省自然科学基金(BK2002410。BK2004084) 作者简介：马骏(1979一)，男．2004级博士研究生 cn *通讯作者．)szhu@nju．edu RMS=^／∑∑(z(i，j)一z)2，单位为llm． V f=i，=i 3实验结果和讨论 3 1对经退火处理的铂村底的研究 Pt／Ti／Si02／Si衬 我们首先考察了铂衬底在退火过程中的表面形貌随退火时间的变化N--块较NN 底片切成数个小片，保证所有研究的铂衬底均来自同一块大衬底片，以消除不同衬底片制作过程中的细微 再用扫描探针显微镜对这一系列样品进行观察．图1是不同时间退火后的铂衬底的表面形貌图． 图1铂村底在不同时闻退火后的扫描振针显微镜表面形貌图