液相外延YBCO膜中氧扩散研究.pdfVIP

第 卷 增刊 低 温 物 理 学 报 %’ -89 +%’ 年 月 #DEF070 G$HIF@. $J .$K L04/0I@LHI0 /D!7E#7 ， %( * $M + %( 液相外延!#$ 膜中氧扩散! 张 宏 杜 柯 中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海 %’ 姚 忻 曾新华 上海交通大学物理系，上海 %( 采用原位等温电阻弛豫法探索了液相外延!#$ 膜中氧扩散行为，得到氧化学扩散激 活能! ) *+ *,- + * 引 言 液相外延（ ）的沉积速率是通常气（汽）沉积速率的