清洗刻蚀源的磁场分析研究.pdfVIP

第29@第4期增w 仪 器 仪 表 学 报 Ⅷ29N04 1型堡!旦 曼!!!坚!!!!坐型型童l塑!韭!鲤!翌塑! !旺型! 清洗刻蚀源的磁场分析 王穗奇束昌 西安I业大学陕西眷姆膜技术重点安验室西安710032 籀要一个离子穗中电磁场的设计好坏与否决定7这个离子源工作的好坏，为此．奉文着重丹析介绍了一个适用于请洗 和刻蚀用的大束密均匀区取发射离子束源的磁场计算、结构厦其I作原理，根据磷路理论，并利用Quickfield二维有限 元分析软件对电融场分布进行模拟．计算结果满足了离子源对电磁场的设计要求。 *键目离子谭磁场计算电场模拟 Clean Source Field MagneticAnalysis Sculpture WangWenqiZhuChang