等离子体增强化学气相沉积技术制备锗反蛋白石三维光子-硅酸盐学报.PDF

第36 卷第9 期 张黎黎等：不同热解条件对碱式碳酸镁晶体形貌的影响 · 1315 · 第36 卷第9 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 36 ，No. 9 2 0 0 8 年 9 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY September，2008 等离子体增强化学气相沉积技术制备锗反蛋白石三维光子晶体 李宇杰，谢 凯，张良静，许 静，韩 喻，李运鹏 ( 国防科学技术大学材料工程与应用化学系，长沙 410073) 摘 要：采用溶剂蒸发对流自组装法将单分散二氧化硅(SiO )微球组装形成三维有序胶体晶体模板，以锗烷(GeH )为先驱体气用等离子增强化学气相 2 4 沉积法在350 ℃填充高折射率材料锗，获得了锗反蛋白石光子晶体。通过扫描电镜、X 射线衍射仪对锗反蛋白石的形貌、成分、结构进行了表征。结 果表明：锗在 SiO2 微球空隙内填充均匀，得到的锗为多晶态。锗反蛋白石光子晶体为三维有序多孔结构。等离子体增强化学气相沉积的潜在优势在 于可实现材料的低温填充，从而以高分子材料为模板进行复型，得到多种结构的三维光子晶体。 关键词：光子晶体；锗反蛋白石；等离子增强化学气相沉积；溶剂蒸发对流自组装；低温填充 中图分类号：TM285 文献标识码：A 文章编号 0454–5648(2008)09–1315–04 FABRICATION OF GERMANIUM INVERSE OPAL THREE DIMENSIONAL PHOTON CRYSTAL BY THE PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION TECHNIQUES LI Yujie ，XIE Kai ，ZHANG Liangjing ，XU Jing ，HAN Yu ，LI Yunpeng (Department of Material Engineering and Applied Chemistry, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China) Abstract: Monodisperse silica microspheres were assembled into a three-dimensional colloidal crystal template with long-range order by the solvent vaporization convection self-assembly method. Using GeH as the precursor gas, the plasma enhanced chemical vapor 4 deposition method was then used to fill the voids of the silica colloidal crystal template with high refractive index germanium, and germanium inverse opal photonic crystal was obtained. The modality, components and structure of the resulting samp