安徽大学2014王敏微电子学概论作业全版附答案.pptVIP

9.静态随机存储器是如何存取信息的？ * * 由两个CMOS反相器的输入与输出互相连接构成的，该结构又称双稳电路。 （1）写信息：WL=1,M5/M6导通,BL/ 准备写;若写1,BL=1,则BL通过M6对Q强迫充电,Q=1;若写0, =1,则 通过M5对 强迫充电, =1; （2）存信息；WL=0,M5/M6截止.若存0,则Q=0, =1,M2/M3导通,M1/M4截止,维持Q=0, =1;若存1,则Q=1, =0,M1/M4导通,M2/M3截止,维持Q=1, =0; （3）读信息；WL=1,M5/M6导通,BL/ 预充 高电平.若读1,BL维持1， 通过M1/M5放电； 若读0, 维持1，BL通过M3/M6放电。 * 10.利用互补型CMOS设计复合逻辑门： * 第四章 作业参考答案 名词解释：化学气相淀积；物理气相淀积；蒸发；溅射；氧化；离子注入；接触；互连；通孔。 简述光刻的工艺过程。 介绍浅槽隔离工艺（STI）过程。 自对准多晶硅/硅化物结构salicide工艺流程。 Cu互连的双大马士革工艺过程及特点。 CMOS反向器的工艺流程。 * 化学气相淀积：也称为气相淀积。是指通过气态物质的化学反应在衬底上淀积一层薄膜材料的过程。 物理气相淀积:利用某种物理过