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Optical Properties of Co-doped ZnO Film
Prepared by Sputtering Deposition in a
Magnetic Inductively Coupled Plasma
Article in hinese Journal of Luminescence · December 2006
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5 authors, including:
Xue- hao Liu zhi-zhan hen
Shanghai Institute of eramics, hinese Acad… Shanghai Normal University
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第27卷 第6期 发 光 学 报 Vo1．27 No．6
2006年 12月 CHINESE JOURNALOF LUMINESCENCE Dec．，2006
文章编号：1000-7032(2006)06-0953-05
磁约束电感耦合等离子体增强溅射沉积 Co掺杂
ZnO薄膜及其光学特性
刘学超 ，施尔畏 ，陈之战 ，张华伟 ，宋力昕
(1，中国科学院 上海硅酸盐研究所，上海 200050；2．中国科学院研究牛院，北京 100049)
摘要 ：采用磁约束电感耦合等离子体增强溅射法(ICPPVD)在Si(100)和石英玻璃衬底上沉积了Zn0Co0o5O
薄膜。XRD谱显示薄膜具有较强的(o02)衍射峰，表明zn Co。，∞o薄膜为c轴择优取向生长；透过光谱显示
zn。Co 0薄膜具有良好的透过性 ，其在可见光和红外波段的平均透过率大于80％，吸收光谱表明co 取
代了zn 处于四配位晶体场中；喇曼光谱证明zn Co 0薄膜具有 良好的六方纤锌矿结构；室温PL谱测量
发现在可见光的蓝光波段和绿光波段存在较宽的发光带，却没有发现本征的近紫外光发射，这是由于 co掺
杂后引入较多的缺陷导致的。
关 键 词：ZnO薄膜；Co掺杂；溅射沉积；光学特性
中图分类号：0472．3；4082．31 PACC：3250F；7855 文献标识码：A
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