微细电火花加工技术-中国科技论文在线.PDFVIP

第2卷 第3期 214 中国科技论文在线 SCIENCEPAPER ONLINE 2007年 3 月 微 细 电 火 花 加 工 技 术 余祖元，郭东明，贾振元 （大连理工大学机械工程学院，大连 116024） 摘 要：微细电火花加工（Micro Electrical Discharge Machining, Micro EDM ）作为微细加工技术的一种，可以 在任何导电材料上加工高精度、大深宽比微细三维型腔，以满足日益增长的产品微小型化需求。针对微细电火 花加工中的一些关键问题，如微细电极损耗与补偿、大深径比微孔加工，本文着重介绍部分研究结果，以期在 微细电火花加工技术的应用中，提供解决对策。 关键词：微细电火花加工; 工具损耗补; CAD/CAM; 大深径比微孔; 电极摇动 中图分类号：TH16 文献标识码：A 文章编号：1673－7180(2007)03 －0214 －7 0 引言 工具材料。微细电火花加工技术广泛应用于微孔、 产品的小型化和微型化已经成为发展的必然趋 微小零部件和微型模具的加工。本文将介绍微细电 増 火花加工技术的基本原理、微细电极制备方法、三 势。这不仅可以在有限的空间 加产品的功能，也 可以减少对日益枯竭的自然资源，如材料和能源的 维微细电火花加工、异型截面微沉孔和大深径比微 消耗。这一发展趋势对微加工技术的应用和开发提 孔加工技术。 出了迫切的需求。大多数微加工技术是以硅片为基 1 微细电火花加工的基本原理 础的半导体加工技术，如刻蚀和电镀。由于这种加 电火花加工过程如图 1 所示。电极和工件都置 工方式属于批量生产，可以降低生产成本，并且， 于绝缘介质中；当电脉冲加载工件和电极时（图 1 半导体加工技术已经广泛应用于大规模集成电路的 （a ）），电子和离子分别向阴极和阳极移动，导致电 加工，技术成熟，宜于与电子控制系统集成，因而 极和工件间的绝缘层击穿，形成过程放电通道（图1 获得学术界和企业界的关注，被应用于加工微小机 （b ））；具有几千度高温的放电通道溶化和部分汽化 电系统(Micro Electromechanical System, MEMS)的 其两端连接电极和工件的部分，并汽化周围的绝缘 加工。这种方法也有局限性，如可选材料有限，并 介质，形成气泡（图 1 （c ））；当电脉冲结束时，周 且深宽比小等，限制了产品的功能和应用范围。另 围的低温绝缘液与电极和工件溶化的部分接触，产 一方面，具有耐磨，耐热和耐蚀性能的各种合金材 生爆炸，工件溶化的部分被吹入绝缘介质中，形成 料和工程材料在航天航空领域，医学，生化，通讯 加工屑，在其表面留有一个浅坑，完成材料去除； 等领域广泛应用。然而，对这些材料进行微米加工 同理，电极部分的浅坑表明加工过程存在工具损耗 尚缺乏有效的手段。因此，精密微细加工技术越来 （图1 （d ））。 越获得学术界和企业的重视，成为先进制造技术和 设备的研究和开发的一个重要方向。 作为微细加工技术的其中之一的微细电火花加 工，可用于加工所有导电材料，而不考虑材料的硬 度等机械性能。由于加工过程中不存在工具与工件 图 1 放电加工过程 的机械接触，因此可采用硬度较低的导电材料作为 用于电火花的脉冲发生器有两种：方波脉冲发 通讯作者：E-mail: zyu@dlut.edu.cn 第2卷 第3期