ZM800A热真空试验设备研制研究.pdfVIP

ZM--800A热真空试验设备研制 于东泉 张利国 (中国科学院沈阳科学仪器研制中心沈阳110004) ZM．800A热真空试验设备可模拟空间真空及高低温环境，用于航天器电子电器 组件级热循环和热真空试验，组件的老练试验，组件级真空放电试验以及微放电试验。 设备由真空容器、热沉、真空系统、加热及制冷系统、主控系统等部分组成。 真空容器为卧式，全不锈钢结构，内径800mm，直段长1200 mill，两端为椭圆 形封头(其中前端为铰链联接的大门)，总长1650nllll，总容积796l，内壁抛光，外 表面经微玻璃珠喷砂处理。 mm，长1200 热沉内径650 mm，内表面积3．4mz，为紫铜焊接件。考虑到超高 真空技术要求，全部采用氩弧焊接，每道焊缝都在通过1．2 MPa气压试漏后，再用氦 质谱检漏仪检漏，以保证漏率要求。 真空系统包扩两套抽气机组，超高真空以低温泵为主泵，抽速2800 1／s，极限真空 Us，前级泵为罗茨泵(抽速30 泵，抽速1500 l／s)+直联式旋片泵(抽速81／s)，热 沉温度+50℃时工作真空度1．3×lO。Pa。 中、低真空测量采用定温式稳定型热偶规管(金属规)，KF法兰联接，测量范围 105一1．3Pa。高真空及超高真空用裸规型B—A规测量。两种真空计均为数字显示式， 并有微机接口，便于与计算机相联。 热沉的加热采用卤素石英管灯。在热沉外部，装又均匀分布的14组共28只卤素 灯，总功率3．5KW,最高加热温度75℃。制冷系统由FD．1型复迭式制冷机组、低温 酒精箱组成。当低温酒精箱内的酒精温度为．80C时，可使热沉温度降至．60。C。温度 测量采用铂电阻，8只铂电阻分布于热沉内部中段600mm长度范围内的不同部位， 以检测温度的均匀性。温度控制采用SR73型控温仪，手动、自动两种工作方式可任 选。 主控系统包括供电电源、流程显示，温控电源，涡轮分子泵电源，真空测量仪器， 以及用于温度、压力数据采集和处理的微计算机及打印机。 与同类型的热真空试验设备比较，这套设备具有以下特点： ①、按超高真空技术进行设计i加工，极限真空度扩展到超高真空区域，工作真空度 扩展了2 个数量级，实际最高加热温度可达到180℃，从而扩大了设备的应用范围。 ②、在现有条件下，尽量采用新设备、新仪器仪表、新材料、新技术。低温泵的使用， 以涡轮分 子泵取代传统的油扩散泵，用卤素灯代替玻璃纤维绝缘加热带，数显式真空计、金属 规管、智能型温控仪的使用，以及微机的配置，使设备的水平较为先进，使用更为方 便可靠。 设备研制过程中，中国航天总公司510研究所、539厂、813研究所以及中科院 上海技术物理所提供了帮助和支持，特致谢。 97 98 器 盈 _n