T10钢表面BN薄膜结合力改善及减摩性研讨.pdf

第pq届中国热处理活动周暨第九届江苏省热处理年会论文集(2006年5月，南京) T10钢表面BN薄膜结合力改善及减摩性研究 高建昌1，邵红红1，吴强2，李宁1，华戟云1 (1．江苏大学材料学院，江苏镇江212013；2．常熟开关厂，江苏常熟215500) 摘要：实验采用射频磁控溅射法在T10碳素工具钢表面制各了氮化硼薄膜，进一步研究了在基材和薄膜之间化 学镀Ni．P中间层对薄膜结合力的影响。使用摩擦试验仪对基材和镀膜后的试样进行磨擦性能检测；通过划痕试 验进行结合强度试验。实验结果表明在工具钢表面溅射镀BN薄膜能更好的降低摩擦系数，起到明显的减摩效果； BN薄膜和T10钢基材之问有一定的结合强度，加入Ni．P中间层以后膜基结合力有显著增加；通过金相显微镜测 出了薄膜的厚度约有3tam。 关键词：射频磁控溅射氮化硼薄膜摩擦系数 氮化硼(BN)不仅具有良好的电绝缘性和高的导热性能，而且还具有很强的化学稳定性。在高温条件 一卜-也具有良好的润滑性，同时氮化硼还具有很强的中吸收能力。目前发现氮化硼具有四种不同的结构：六 乎一样，是集许多优良性能与于一身的多功能高温高压相材料，如超高硬度(仅次于金刚石)、高耐磨性、 高电阻率、高热导率、低热膨胀系数、宽带隙(6．4eV)、高迁移率、易实现P型和n型掺杂等，在机械、 热学、光学、电子等领域有着极为广泛的应用前景忙J。 薄膜【3】，但国内外报导在碳素工具钢和合金钢上制备BN薄膜的例子却不多见。另外，薄膜和基材之间的 结合力小也是一直制约氮化硼薄膜在机械行业中应用的主要因素HJ，因此本文从结构匹配和现实生产工艺 出发在薄膜和基材之间选取化学Ni．P镀，以减少膜和基材之间结构的差距H】和工艺的复杂性。经过试验检 测发现加入Ni．P中间层后薄膜和基材之间的结合力有显著的增加达到原来的两倍。这为实现BN薄膜在以 后机械行业中的应用提供了必要的实验依据。 1 实验 1．1实验材料及设备 本实验采用的基材为T10钢。基材成分如表1所示，显微组 织如图1。基材为退火态，组织为珠光体和网状渗碳体。 实验采用的薄膜材料为压制而成的高温烧结态h-BN靶材，直 径为60mm。 本实验用到的镀膜和检测设备主要有：JGP560CVI型超高真 空多功能磁控溅射仪，WS．2000涂层附着力自动划痕仪(压头为 锥角120度的金刚石，尖端半经R=0．2mm)，MS—T3000摩擦磨损 试验仪(磨球为Si3N4)，金相显微镜，原子力显微镜。 图1T10的金相组织 StructureofTl0matrix Fig．1 1．2实验过程 本实验主要有三大部分：中间层(Ni—P化学镀)的制备、BN薄膜的制备和测试。 提高氮化硼薄膜与基材的结合力目前有很多方法151，如降低沉积过程中离子对薄膜的轰击作用16J：高 温沉积【71；加入第三种元素‘8】；辅助荷能离子轰击【9】；利用过渡层㈣和利用多层结构【11】等。金属镍的品格 265 的Ni·P化学镀层作为中间过渡层以提高薄膜与基体之间的结合力。 为30分钟：镀层厚度约为5微米；Ni．P镀层中P含龄大约在80／oK；fi-。 表1Ni-P化学镀镀液配方 Tab．1 of chemical Ni·P Components plating 成分 含量 硫酸镍(主盐) 2 L 次皿磷酸钠(还原剂) 2