TiO2纳米薄膜的制备及其紫外可见光谱研讨.pdfVIP

TiO。纳米薄膜的制备及其紫外一可见光谱研究 261 Ti02纳米薄膜的制备及其紫外一可见光谱研究 ofAnataseNanoffim Ti02 by Preparation MagnetronSputtering andTheirUV-vis SpectrumAnalysis 杜雯1’2，冶银平1，李红轩1，崔海霞1 (1中国科学院兰州化学物理研究所，固体润滑国家重点实验室， DU Wenl’2，YE 1，CUIHai—xial Yin—pin91，LIHong—xuan LanzhouInstituteofChemicaland (1 of Physics，ChineseAcademy Graduate oftheChinese of 730000，China；2University 100049，China) AcademySciences，Beijing 摘要：用磁控溅射技术在普通载玻片上制备了不同厚度透明的锐钛矿相二氧化钛(TiO：)纳米薄膜，利用X射线衍射仪 (XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)等分析方法对试样进行表征，并测试了其紫外一可见透射光谱，计算了此薄膜 的禁带宽度，其值接近Tioz禁带宽度的理论值3．2eV。 关键词：磁控溅射；TiOz纳米薄膜；紫外一可见光谱；禁带宽度 中图分类号：0484．1文献标识码：A 文章编号：1001-4381(2008)10—0261—04 anatasenanofilmswithdifferentthicknesswere Abstract：TheTi02 preparedbymagnetronsputte- structuralcharacterizationofthefilmswerecarriedout ring．Detailed XRD，FE—SEMmethod． using ThefilmsUV—vis oftransmittanceweremeasuredand band spectrum analysised．Theopticalenergy oftheas—obtainednanofilmswerecalculated．Thecalculated handwerecloseto gap opticalenergygap thetheoreticalvaluewith3．2eV． words：magnetron Ti02nanofilms；UV—vis band Key sputtering；anatase spectrum；opticalenergygap 1997年Wang等口3