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田仁来 等：Ti-O 薄膜的溅射刻蚀微形貌表面对内皮细胞生长的影响 2481 Ti-O 薄膜的溅射刻蚀微形貌表面对内皮细胞生长的影响* ∗ 田仁来，黄 楠，陈俊英，冷永祥，王 露 (西南交通大学 材料先进技术教育部重点实验室 四川省人工器官表面工程重点实验室，四川 成都 610031) 摘 要：利用磁控溅射合成具有一定特性的 Ti-O 薄 2 实 验 膜，并采用Ar 离子溅射刻蚀该薄膜表面。运用原子 力显微镜(AFM) ，X 射线衍射(XRD)对刻蚀后的薄膜 采用非平衡磁控溅射设备制备 Ti-O 薄膜，纯钛 表面微观形貌、微结构进行表征。结果表明：薄膜的 靶（99.9% ）作为阴极，工作气体为O2 和Ar 混合气 结构未发生变化，表面的粗糙度减小。进一步的人脐 体，分压比为 1：2.4 ，溅射电压为 375V ，溅射电流 静脉内皮细胞(HUVEC)种植实验表明：表面粗糙度的 为 3A ，衬底为单晶Si(100) ，沉积 12min 。成膜后再 变化对内皮细胞的贴附、生长与增殖有很大的影响。 利用Ar+ 溅射刻蚀薄膜表面，工作电压为 1000V ，Ar 关键词：磁控溅射；刻蚀；Ti-O 薄膜；表面形貌；内 气压力为8Pa，刻蚀时间为30min 。运用AFM 、XRD 皮细胞 对刻蚀薄膜表面微观形貌、结构进行表征。 中图分类号：R318.08 文献标识码：A 采用Ⅱ型胶原酶对离体不超过 4h 的健康剖宫产 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊 妇的脐带静脉进行消化以提取内皮细胞，离心后加以 适量M199 培养液并悬浮均匀获得具有一定浓度的内 1 引 言 皮细胞液。将薄膜试样放入该细胞液中，并在 37 ℃ 21 世纪我国将步入老龄化社会高峰期，心脑血管 +5%CO2 环境下培养 40h ，随后固定、脱水、脱醇及 临界点干燥，并于光镜下观察细胞的粘附、增殖及生 疾病已成为我国中老年居民死亡率最高的疾病之一。 长情况。 人工心脏瓣膜、人工血管、血管支架等用来治疗心脑 血管疾病的人工器官的需求量在日益增加，但目前临 3 实验结果与分析 床上所用器件与材料的生物相容性仍不能令人满意。 大量研究表明，在人工器官表面制备一层 Ti-O 薄膜 3.1 Ti-O 薄膜表面的结构与形貌变化 能有效改善其植入体的生物相容性[1~2] 。当将涂覆有 图1 为刻蚀前后Ti-O 薄膜的X 射线衍射结果， Ti-O 薄膜表面改性层的人工器管植入体内时，它不仅 由图可知，刻蚀后薄膜的结构未发生明显改变。 与血液接触并相互作用，而且还与人体血管内壁的内 皮细胞直接接触并发生作用。血管内皮细胞具有分泌 抗凝血物质的功能，并可抑制内膜增生，是维持血管 通畅，防止血栓形成的最重要因素之一。因此，如果 能在薄膜材料表面种植、培养出生长良好的血管内皮 细胞，将可能成为提高材料抗凝血性和血液相容性的 最理想途径。陈俊英等[3] 在 Ti-O 薄膜表面进行了血 管内皮细胞培养的实验，结果表明，具有一定特性的 Ti-O 薄膜有着良好的内皮细胞生长特性。本研究将在 此基础上进一步探讨 Ti-O 薄膜经溅射刻蚀前后的不 图1 Ti-O 薄膜刻蚀前(a)与刻蚀后(b) 的XRD 图谱 同微形貌表面对内皮细胞生长的影响。