溶胶电泳沉积法制备PZT压电薄膜研究.pdfVIP

2()05 2005年10月 四川大学学报(自然科学版) oct 42 2 Science Vol Issue ofSichuan Edition) 第42卷增刊2 Journal University(Natural 文章编号：0490．6756(2005)022—0407—03 溶胶电泳沉积法制备PZT压电薄膜 魏长松，周静，徐玲芳，陈文” (武汉理T大学材料科学与工程学院，武汉430070) 摘要：用溶胶电泳沉积法制备出了Pb(Zr052Ti48)03压电薄膜，分析了溶胶浓度和电极电压等