溶胶凝胶波导环形谐振腔研究.pdfVIP

第四届中国国际光通信产业发展高峰论坛第五届中国光通信论坛 溶胶凝胶波导环形谐振腔 庞拂飞韩秀友蔡海文瞿荣辉方祖捷 (中国科学院上海光学精密机械研究所) 摘要：采用简单的有机一无机混合的溶胶一凝胶方法制备了折射率在一定范围内可调的波导材料。并 利用其制各了平面波导环形谐振腔器件。波导结构呈现倒脊形，其制各工艺首先是利用感应耦合等离 子体刻蚀技术在=氧化硅衬底上刻蚀波导结构的凹槽，然后再沉积波导薄膜。利用光谱仪对器件的传 输特性进行了测量，观测到具有10dB对比度的透射光谱．通过数据处理分析得到环形谐振腔的传输损 耗为1．88dB／cm。 关键词：溶胶凝胶法波导平面波导环形谐振腔 l、引言 制各工艺的限制直到上世纪80年代才有相关的实验报道”’。最近十年内，平面波导环形 谐振腔技术得到了长足的发展。环形谐振腔的半径由厘米量级发展到微米量级；结构由 横向耦合发展到垂直耦台，单个环形腔发展到多环形腔级联以及同其它干涉结构相结合 的复合滤波器结构。由于其在很小的尺寸下就可以实现波长选择性的滤波，在光通信领 域的许多方面均有很好的应用前景，如波分复用01、色散补偿…等。材料方面也呈现多 样化，半导体化合物、硅基