微尺度流动研究的历史与现状.pdf

维普资讯 第 12卷 第 1期 重庆电力高等专科学校学报 2007年3月 V01．12 No．1 JournalofChongqingElectricPowerCollege Mar．2OO7 微尺度流动研究的历史与现状 吕春红，任泰安 (河南机电高等专科学校，河南 新乡453002) 摘【 要】在微尺度下，一些宏观尺度下忽略的作用力和效应起了重要作用，使微尺度现象与宏观现象呈现出 较大的差异，使常规分析中的理论和一些简化条件，不再能解释微尺度下流动现象。如宏观条件下，5％的相对 粗糙度可以忽略，而在微尺度下，较小的相对粗糙度会对气体流动产生比较大的影响，气体稀薄效应也会使气 体流动阻力减小。 【关键词】微型机电系统；微尺度；微通道；气体流动 【中图分类号】0354 文【献标识码】A 【文章编号】1008·8032(2007)O1·00011·04 O 引言 在微型机械 电子系统以及纳米器件的设计和 应用中，在能量转换、热控制以及高效换热器等应 近二十年来 自然科学和工程技术发展的重要 用方面，微尺度流动和传热问题显得非常突出和重 趋势是朝微型化、集成化和智能化迈进，人们的注 要。因为此时任何一个物理过程中的物质和能量 意力逐渐从大尺度范围内的宏观现象和常规器件 传输均发生在一个受限制的微小几何结构中，这期 转向那些发生在小尺度范围内的微观现象和微型 间涉及到流体流动或能量的转换，而任何不可逆过 器件上。 程中能量耗散必然有一部分是以热的形式表现出 MEMS技术 自从产生以来，便以极大的优越 来。已有研究表明，由于微尺度通道的许多固有特 性，在国防军事、能源动力、生物医疗以及信息通讯 点，使得常规通道下的流动和换热诸多关联式不再 等方面得到快速应用，并覆盖了从生物系统、医疗 有效，建立在宏观经验上的传统流体力学和传热学 到流体器件控制、热量运输、微电子技术、光电器件 理论对微尺度现象 已不再完全适用。流动滑移 等诸多工业领域。其中微流体系统是 MEMS中的 (slipflow)、稀薄性 (rarefaction)、粘性耗散 (viscous 一 个重要组成部分，主要应用于例如微量化学分 dissipation)、可压缩性(compressibility)、分子间作 析、微量医学注射和分析、高精度喷墨打印、微型发 用力(intermoleculraforces)、以及其他非常规影响 动机推进、微推进器中的燃料腔和喷 口、由微泵和 (unconventionaleffects)，如表面的相对粗糙度对微 微阀组成的微流体控制系统，以及生物芯片中由微 通道流动的影响，都有必要考虑进去。正是这些微 流体通道组成的微分析系统等。 尺度下流动的非常规性，以及各种新的微尺度流动 当这些微器件尺寸小到一定范围内时，其中的 现象的不断发现，引起了对微尺度流动现象的研究 微观尺度流动现象与宏观流动的规律有相当的差 热潮。最近20年来，愈来愈多的学者在微通道实 别，有的规律需要进行较大的补充和修正。例如： 验研究、理论分析以及数值计算方面做了很多的工 微细通道内流动在某些条件下不再服从 Navier— 作。例如Tuckerman和 Pe