制备干式电解电容器之铝箔电极.pdf

科 技 學 刊 第 16 卷 科 技 類 第 2 期 頁 115-119 中 華 民 國 96 年 5 月 製備乾式電解電容器之鋁箔電極 林春強 張傑鈞 國立雲林科技大學化學工程研究所 摘 要 電化學電容器具有高能量密度、高功率密度與長壽命的特性，其應用於 3C 產品時，具 有其性能上、成本上與可靠度上的競爭優勢；在傳統乾式電解電容器製程主要分為兩步 驟：電蝕與化成，本實驗使用新式製程來製備鋁箔電極。在電蝕方面，本實驗在電蝕過 程中使用超音波震盪器震盪使得鋁箔表面積增加，並透過電子掃描顯微鏡 (SEM) 觀察 其表面形態發現電蝕效果與所使用超音波震盪有關，隨著頻率增加而表面蝕刻效果越 好；又在化成方面，本實驗使用氧電漿離子轟擊電蝕後之鋁箔表面形成介電質且具電容 特性，在電化學分析方面，以循環伏安法 (CV) 來探討其氧化還原行為，發現其與正箔 的循環伏安型極為相似，且具有良好的再現性，可作為一良好的乾式電解電容器電極。 關鍵詞 ：鋁箔、超音波、電蝕、電漿、電解電容器 Ⅰ. 前 言 法獲得有效的表面積增加，且根據法拉第電解定律 (W = ItA/zF) 調整電流大小就可以自由的決定溶解速度，此外電 電容器 (capacitor或condenser) 係一簡單組件，在兩平行導 化學蝕刻還可有不同的變化像是：電流的斷續、變化及交 體間隔以絕緣介質，所組成之元件稱之。一般鋁箔乾式電 流電的使用等等。因此在電化學蝕刻過程中外加電源是使 解電容器的製造流程包含鋁原箔的製造、電蝕 (Etching) 、 腐蝕繼續進行的驅動力，促使蝕刻速度得到合理控制。一 化成及各個元件的組裝。高純度鋁原箔的單價很高，而台 般是使用含有氯的酸液來當蝕刻反應的電解液，有學者研 灣至今尚無能力可製造高純度鋁原箔，且電蝕鋁箔的製造 究添加其他酸液 (硫酸與草酸等) 來增加蝕刻效果 (Choi, 技術層次較高，並非短時間內即可獨自建立；故本研究擬 et al., 2001; Goad and Uchi, 2000) ，另外還有在電化學電蝕 嘗試針對鋁原箔進行電蝕、化成與熱處理，期望發展出製 過程中使用超音波震盪設備來改善氯化鋁抑制鋁箔表面蝕 備鋁箔電極之技術。鋁箔乾式電解電容器逐漸趨於體積小 刻的研究 (Kang, et al., 2005) ，在電蝕過程中使用68Khz的 型化、擴大靜電容量或增大單位體積內的CU值等是鋁箔乾 超音波產生器震盪可使得鋁箔蝕刻表面積增加55.8% ，經化 式電解電容器生產中不斷要求改進的重要任務。