微探针加工技术之研究-科技部工程科技推展中心.pdfVIP

行 精 類 行 年年 行 李 參理 理林 理 理 利 年 年 ■ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 微探針加工技術之研究 計畫類別：■個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號： NSC 98 －2221 －E －230 －008 執行期間：98 年 08月 01日至 99 年 07月 31日 執行機構及系所：正修科技大學機械與機電所 機構設計實驗室 計畫主持人：蔡穎堅 教授 共同主持人：李貫銘 教授 計畫參與人員：黃廣淼、陳俊宏、林子惟 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：■精簡報告□完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提 升產業技術及人才培育研究計畫、列管計 畫及下列情形者外，得立即公開查詢 ■涉及專利或其他智慧財產權，□一年■二年後可公開查詢 執行單位：國立中山大學 機械與機電工程研究所 中 華 民 國 九十九 年 十 月 五 日 I 中文摘要 目前掃描探針顯微量測設備所採用的探針，對於量測具有較大深 寬比的零件/ (如模 數 0.12mm 、厚度1.4mm的微齒輪 ) ，易受到探針幾何尺寸的限制，而無法一次量測出該 零件的幾何與表面的特徵。因此本研究投入開發可量測次微米特徵的微米級產品所需之 探針，且同時考量探針的製作簡易度與價格合理性，本研究選用光纖作為次微米量測所 需之探針材料，並選用加熱拉伸法作為本研究之製程。 一般市售加熱拉伸法製作光纖探針的設備，藉由控制雷射功率與拉伸速度參數來改 變探針成形時的輪廓，進而得到期望的光纖探針外型。但大多數此類設備所費不貲，且 由於雷射可加熱範圍較小，進而影響探針可拉伸的長度。 本研究欲嘗試改以火焰噴槍取代雷射做為加熱源，並自行開發光纖挾持與拉伸機構 作垂直拉伸運動，使得移動端在拉伸時可得到直針式的探針，而固定端因持續加熱而呈 一彎曲角度。本研究所開發光纖熱拉伸機構可巧妙的同時製作出彎曲式光纖探針與一般 直式光纖探針，成功的拉出尖端直徑尺寸小於 0.5 μm的探針。本研究採上述方法製造出 實用且價格成本相較之下遠低於目前市售機種的光纖探針熱熔拉機。 關鍵字：光纖探針、火焰加熱熔拉法 Abstract It is difficult to use the probe of scanning microscopy to measure the profile and surface roughness of the meso-scale parts with high depth/width ratio (such as a micro gear with gear modulus 0.12mm an