水热法与溶胶凝胶法制备ITO薄膜及其性能分析研究.pdfVIP

职利等：水热法与溶胶一凝胶法制备1TO薄膜及其性能分析 水热法与溶胶一凝胶法制备ITO薄膜及其性能分析。 职利，徐华蕊，周怀营 (桂林电子工业学院信息材料科学与工程系，广西桂林541004) 摘要： 分别采用水热法和溶胶一凝胶法制备了ITO 的玻璃基片上镀膜，提拉速度为9em／rnia。随后将覆 薄膜，井借助x射线衍射、扫描电镜等表征手段对制 有薄膜的玻璃基片经80℃干燥和550℃热处理lh即 备的薄膜进行了结构和性能分析。结果表明水热法制 得到ITO薄膜。 备的ITO薄膜均匀、致密，表现出很好的光电性能，特 2．2水热法制备ITO薄膜 别是其电阻率可选8．8×101n·cm；而溶胶一凝胶法 制备的ITO薄膜表现出更好的光学性能，并在600～ 强力搅拌下混合，随后过滤、洗涤至滤液中没有cl检 800nm波长范围内具有明显的增透作用。 出，将滤饼再用去离子水分散，并滴人少量硝酸调节 关键词：ITO薄膜：水热法：溶胶一凝胶法 pH值为3～5后，与清洗干净的玻璃基片一起移人村 中图分类号：TN304．055 文献标识码：A 有聚四氟乙烯的40rrd筒式高压釜中，填充度为80％， 文章编号：1001—9731【2006)增刊一0237～02 在160C下保温8h，随后将覆有薄膜的玻璃基片经 80℃干燥和550℃热处理1h即得到ITO薄膜。 1引言 两种方法所用的玻璃基片都先用洗涤剂清洗，然 氧化铟锡(ITO)薄膜是一种重掺杂、高简并的宽 能隙(E一3．5～4．3eV)n型半导体材料，其载流子浓 去离子水冲洗，并用丙酮超声清洗后待用。 度约10_21cm，电导率可达10“0·cm，并具有优良的 2．3薄膜表征 光性能，表现为对可见光透过率90％，红外反射率 70蹦，紫外吸收率85％，微波衰减率85％，同时还 克)分析薄膜物相组成(CuKa，辐射波长0．154056 具有高硬度、耐磨性、耐化学腐蚀特性以及良好的加工 性能。这些优良性能使ITO薄膜在LED等多种电子 子)分析薄膜表面形貌；用薄膜测厚仪(Dektek8，美国 显示器件、太阳能电池，建筑用节能视窗，军用仪器设 维易科)测量薄膜厚度f采用四探针测试仪(TYJX- 备的设计等方面的应用日益广泛““o。ITO薄膜的制CZ，上海精密仪器测量有限公司)测量薄膜的电阻率I 备技术有很多；溶胶一凝胶(sol-gel)、化学气相沉积 用紫外一可见分光光度计(756，上海光谱分析仪器有限 (CVD)、激光脉冲沉积(PLD)、磁控溅射沉积等f{““， 公司)分析ITO薄膜在可见光区域的吸收特性。 其中磁控溅射是目前生产常用的方法，但存在着设备 3实验结果与讨论 投资大，运行成本高以及难以在形状复杂的器件表面 镀膜等不足，所以开发低成本、高性能的薄膜制备方法 3．I薄膜结构分析 具有极其重要的意义。 两种方法制备的薄膜的XRD分析如图1所示。 本工作分别采用水热法和溶胶一凝胶法制备了 ITO薄膜，并借助x射线衍射、扫描电镜等手段对这(440)晶面有明显的衍射峰，表明结晶性能较佳j溶胶一 两种方法制备的薄膜进行了结构和性能表征。 凝胶法制备的薄膜只在(222)晶面有衍射峰，表明该法 2实验 2．1溶胶一凝胶法制备ITO薄膜 将所需的金属铟和锡(以InzO。ls